打线方法与打线装置
    1.
    发明公开

    公开(公告)号:CN109844914A

    公开(公告)日:2019-06-04

    申请号:CN201780064819.6

    申请日:2017-08-22

    Abstract: 本发明可准确地接合多个电极。打线方法包括:准备打线装置1的步骤;球形成步骤,形成焊球(43);第一高度测定步骤,通过检测焊球(43)是否接地至第一电极,而测定第一电极的高度;第二高度测定步骤,通过检测焊球(43)是否接地至第二电极,而测定第二电极的高度;第一接合步骤,基于第一高度测定步骤的测定结果来控制接合工具(40)的高度,将所述焊球(43)接合至第一电极;以及第二接合步骤,基于第二高度测定步骤的测定结果来控制接合工具(40)的高度,将引线(42)接合至第二电极,以将第一电极与第二电极予以连接。

    半导体装置的制造装置及制造方法

    公开(公告)号:CN119072774A

    公开(公告)日:2024-12-03

    申请号:CN202380035764.1

    申请日:2023-07-10

    Abstract: 制造装置(10)包括:毛细管(18);接合臂(14);负载传感器(22),检测所述毛细管(18)所承受的负载作为检测负载(Ld);以及控制器(34),使所述毛细管(18)下降,在所述检测负载(Ld)成为规定的着陆负载(La)以上的情况下,判断为所述毛细管(18)着陆,所述控制器(34)在所述毛细管的下降过程中,在满足规定的修正条件的情况下对所述负载传感器(22)的偏移进行修正,以使得满足所述修正条件的时间点下的所述检测负载(Ld)为零,所述修正条件是所述检测负载(Ld)自在规定的单位时间前检测出的所述检测负载即过去检测负载发生变化,且其变化量为较所述着陆负载(La)小的基准负载(Ls)以下。

    打线方法与打线装置
    3.
    发明授权

    公开(公告)号:CN109844914B

    公开(公告)日:2023-04-25

    申请号:CN201780064819.6

    申请日:2017-08-22

    Abstract: 本发明为一种打线方法及打线装置,可准确地接合多个电极。打线方法包括:准备打线装置(1)的步骤;球形成步骤,形成焊球(43);第一高度测定步骤,通过检测焊球(43)是否接地至第一电极,而测定第一电极的高度;第二高度测定步骤,通过检测焊球(43)是否接地至第二电极,而测定第二电极的高度;第一接合步骤,基于第一高度测定步骤的测定结果来控制接合工具(40)的高度,将所述焊球(43)接合至第一电极;以及第二接合步骤,基于第二高度测定步骤的测定结果来控制接合工具(40)的高度,将引线(42)接合至第二电极,以将第一电极与第二电极予以连接。

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