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公开(公告)号：CN113826322B
公开(公告)日：2024-05-31
申请号：CN202080033645.9
申请日：2020-02-03
Applicant: 株式会社村田制作所
IPC: H03H9/24
Abstract: 本发明提供一种谐振装置，其降低了施加于支承臂与保持部的连接部分的应力。谐振装置具备：谐振器，包括基部、从该基部的一端沿着第一方向延伸的振动臂、配置于振动臂的周围的至少一部分并将振动臂保持为能够振动的保持部、以及将基部与保持部连接的支承臂；和第一基板，包括形成谐振器的振动空间的至少一部分的第一凹部、以及在厚度方向上与支承臂空开第一距离地设置的第一限制部，第一距离小于在第一基板的厚度方向上第一凹部的底面与振动臂之间的距离。
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公开(公告)号：CN117730482A
公开(公告)日：2024-03-19
申请号：CN202280050680.0
申请日：2022-03-30
Applicant: 株式会社村田制作所
IPC: H03H9/24
Abstract: 本发明缓和由于冲击在谐振子产生的应力。谐振装置具备：谐振子(10)，包括基部(130)、多个振动臂(121A～121D)以及保持部(140)，上述多个振动臂分别具有与基部连接的固定端侧的臂部(123A～123D)和形成于开放端侧的锤部(122A～122D)，并且上述多个振动臂相互并列延伸且以面外弯曲振动模式为主振动进行振动，上述保持部配置于多个振动臂(121A～121D)的周围的至少一部分，构成为保持基部(130)；下盖；上盖，在与下盖之间形成谐振子(10)的振动空间；以及突出部(50)，从下盖或者上盖的内面向振动空间突出，保持部(140)具有突起(146a、146b)，在俯视时，上述突起形成于与多个振动臂(121A～121D)中的至少一个振动臂的锤部(122A～122D)对置的位置。
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公开(公告)号：CN107431473B
公开(公告)日：2020-06-16
申请号：CN201680013875.2
申请日：2016-03-29
Applicant: 株式会社村田制作所
IPC: H03H9/17
Abstract: 本发明提供一种共振装置。能够使共振频率稳定。具备：共振子，具有下部电极、多个上部电极、和形成在下部电极与多个上部电极之间的压电膜；上盖，具有第一面和第二面，被设置为该第一面与共振子的上部电极对置地密封共振子的第一面；下盖，具有第一面和第二面，被设置为该第一面与共振子的下部电极对置地密封共振子的第二面；电源端子，与上部电极电连接；以及接地端子，设置于上盖的上述第二面，下部电极经由上述上盖与上述接地端子电连接。
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公开(公告)号：CN110785930A
公开(公告)日：2020-02-11
申请号：CN201880041488.9
申请日：2018-03-08
Applicant: 株式会社村田制作所
Abstract: 能够在任意的长宽比提高限制性。具备：振动部，具有基板和一个以上的电极，基板具有由宽度方向以及长度方向确定的主面，电极形成在遍及基板的主面中的至少长度方向的大致整个区域的区域，振动部根据对电极施加的电压，以沿着宽度方向的伸缩振动为主振动；保持部，被设置成包围振动部的至少一部分；以及保持臂，将振动部和保持部连接，振动部具有位于长度方向的端部的宽度方向的宽度Wo，并且具有至少一处以上的异形部，异形部在宽度方向上形成为凹状或者凸状，以便具有位于长度方向上的对置的一对端部之间的、与宽度Wo不同的宽度Wm。
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公开(公告)号：CN110024284A
公开(公告)日：2019-07-16
申请号：CN201780073619.7
申请日：2017-10-27
Applicant: 株式会社村田制作所
Inventor： 维莱·卡亚卡里
Abstract: 提供了在高频应用中具有改善的电气特性和减小的动态阻抗的MEMS谐振器阵列。MEMS谐振器阵列包括一对第一压电谐振器，所述一对第一压电谐振器彼此相对，所述一对第一压电谐振器之间限定有空间。此外，MEMS谐振器阵列包括一对第二压电谐振器，所述一对第二压电谐振器彼此相对并且分别耦接至第一压电谐振器中的每一个的相应角。照此，第二压电谐振器中的每一个被部分地设置在所述一对第一压电谐振器之间限定的空间中。
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公开(公告)号：CN107925395A
公开(公告)日：2018-04-17
申请号：CN201680051018.1
申请日：2016-06-22
Applicant: 株式会社村田制作所
CPC classification number: H03H9/2405 , H03H9/02433 , H03H9/0595 , H03H9/1035 , H03H9/1057 , H03H2009/0244
Abstract: 在谐振子中，通过减少锚定损耗而提高Q值。谐振子具备：压电振动部、设置于压电振动部的周围的至少局部的保持部、位于压电振动部与保持部之间的第一节点生成部、连接第一节点生成部与压电振动部的和第一节点生成部对置的区域的第一连接臂、以及连接第一节点生成部与保持部的和第一节点生成部对置的区域的第一保持臂，第一节点生成部相对于沿着第一连接臂连接第一节点生成部与压电振动部的第一方向以及与第一方向正交的第二方向、且通过第一节点生成部的中心的两条线的每一个呈大致对称的形状。
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公开(公告)号：CN107408934A
公开(公告)日：2017-11-28
申请号：CN201680014116.8
申请日：2016-03-29
Applicant: 株式会社村田制作所
IPC: H03H9/17
Abstract: 本发明提供减小保持单元中的共振电阻的谐振器。具备：振动部，其具有第一电极、第二电极以及形成在该第一电极与第二电极之间的压电膜；保持部，其设置为包围振动部；一对保持单元，它们连接振动部与保持部且相互对置地设置；以及引出电极，其从保持部连续地形成到保持单元，第一电极或者第二电极连续地形成到保持单元，并在保持单元上与引出电极连接，引出电极的单位面积的电阻值比连续地形成到保持单元的第一电极或者第二电极的单位面积的电阻值小。
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公开(公告)号：CN113574800B
公开(公告)日：2024-12-27
申请号：CN201980094259.8
申请日：2019-12-12
Applicant: 株式会社村田制作所
IPC: H03H9/24
Abstract: 本发明提供一种谐振器以及谐振装置，提高振动的限制性。谐振器(10)具备：振动部(120)，包括Si基板(F2)、形成于Si基板(F2)的一个主面的金属层(E1)、以及配置于Si基板(F2)与金属层(E1)之间的压电薄膜(F3)，振动部(120)以轮廓振动为主振动而振动；保持部(140)，形成为包围振动部(120)的至少一部分；以及支承单元(110)，连接振动部(120)和保持部(140)，振动部(120)具有在一个主面去除压电薄膜(F3)而成的凹部(121)。
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公开(公告)号：CN111133675B
公开(公告)日：2024-04-05
申请号：CN201880062284.3
申请日：2018-05-23
Applicant: 株式会社村田制作所
Inventor： 维莱·卡亚卡里
Abstract: 提供了一种用于烘箱控制的MEMS振荡器的校准系统。该校准系统包括控制电路系统，该控制电路系统分别选择预先确定的目标设定点值并且基于所选择的目标设定点值中的每一个来控制烘箱控制的MEMS振荡器内的加热器，以调整烘箱控制的MEMS振荡器的设定点。该系统还包括振荡测量电路，该振荡测量电路测量在与所选择的预先确定的目标设定点值中的每一个对应的每个调整的设定点处的相应振荡频率。所测量的振荡频率然后可以被用于确定用于烘箱控制的MEMS振荡器的目标设定点操作值，该目标设定点操作值可以被用于校准烘箱控制的MEMS振荡器。
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