公开(公告)号：JP6742601B2

公开(公告)日：2020-08-19

申请号：JP2018520672

申请日：2017-03-16

Applicant: 株式会社村田製作所

Inventor： 吉井 健太郎 ,  後藤 雄一 ,  竹山 佳介 ,  西村 俊雄 ,  盛永 俊吾 ,  河合 良太 ,  井上 義久

IPC: H03H3/04 ,  H03H9/02 ,  H03H9/24

公开(公告)号：JPWO2017208568A1

公开(公告)日：2019-03-14

申请号：JP2017010605

申请日：2017-03-16

Applicant: 株式会社村田製作所

Inventor： 吉井 健太郎 ,  後藤 雄一 ,  竹山 佳介 ,  西村 俊雄 ,  盛永 俊吾 ,  河合 良太 ,  井上 義久

IPC: H03H3/04 ,  H03H9/02 ,  H03H9/24

Abstract: 共振子上の絶縁体層又は、絶縁体層上の導電層に帯電した電荷が共振周波数に与える影響を抑制する。 第1電極及び第2電極と、第1電極と第2電極との間に設けられ、第1電極に対向する上面を有し、第1電極及び第2電極の間に電圧が印加されたときに所定の振動モードで振動する、圧電膜と、第1電極を介して圧電膜の上面と対向して設けられた、絶縁体からなる保護膜と、保護膜を介して圧電膜の前記上面と対向して設けられた、導電体からなる導電膜と、を備え、導電膜は、第1電極及び第2電極のいずれか一方に電気的に接続される。

公开(公告)号：JP6278246B2

公开(公告)日：2018-02-14

申请号：JP2016551940

申请日：2015-09-18

Applicant: 株式会社村田製作所

Inventor： 後藤 雄一 ,  廣田 和香奈

IPC: H03H9/24 ,  H03H9/205 ,  H03H9/02

CPC classification number: H03H9/2447 ,  B06B1/0603 ,  H03H3/0072 ,  H03H9/1057 ,  H03H9/2489 ,  H03H2009/02299

公开(公告)号：JP6102629B2

公开(公告)日：2017-03-29

申请号：JP2013167400

申请日：2013-08-12

Applicant: 株式会社村田製作所

Inventor： 上林 嗣治 ,  後藤 雄一

IPC: B06B1/02 ,  H02K7/18

公开(公告)号：JP6844747B2

公开(公告)日：2021-03-17

申请号：JP2020516011

申请日：2018-11-26

Applicant: 株式会社村田製作所

Inventor： 河合 良太 ,  竹山 佳介 ,  後藤 雄一

IPC: H03H9/24

公开(公告)号：JP6547983B2

公开(公告)日：2019-07-24

申请号：JP2017510062

申请日：2016-03-29

Applicant: 株式会社村田製作所

Inventor： 西村 俊雄 ,  後藤 雄一 ,  吉井 健太郎 ,  カーヤカリ ヴィレ

IPC: H03H9/24

公开(公告)号：JPWO2018008480A1

公开(公告)日：2019-03-07

申请号：JP2017023622

申请日：2017-06-27

Applicant: 株式会社村田製作所

Inventor： 後藤 雄一 ,  福光 政和

IPC: H03H9/24

Abstract: 保持部上の絶縁体層に帯電した電荷が共振周波数に与える影響を抑制する。 圧電膜と、当該圧電膜を間に挟んで対向するように設けられた下部電極及び上部電極とを有し、所定の振動モードで振動する振動部と、振動部における振動の変位が最大となる変位最大領域の周囲に少なくとも設けられ、絶縁膜を有する保持部と、振動部と保持部とを接続する保持腕と、保持部における少なくとも振動部の変位最大領域に対向する領域において、保持部の絶縁膜に接して形成された導電部と、を備え、導電部は、下部電極又は前記上部電極と電気的に接続されるか、又は、接地される。

公开(公告)号：JP6468350B2

公开(公告)日：2019-02-13

申请号：JP2017515360

申请日：2015-10-21

Applicant: 株式会社村田製作所

Inventor： 後藤 雄一 ,  廣田 和香奈

IPC: H03H9/24

公开(公告)号：JP6923010B2

公开(公告)日：2021-08-18

申请号：JP2019570281

申请日：2018-08-27

Applicant: 株式会社村田製作所

Inventor： 梅田 圭一 ,  大川 忠行 ,  加本 拓 ,  後藤 雄一 ,  井上 義久 ,  岸 武彦

IPC: H03H9/24 ,  H01L41/053 ,  H01L41/047 ,  H01L41/113 ,  H01L41/09 ,  H01L41/187 ,  H04R17/02 ,  H04R17/00 ,  B81B3/00

公开(公告)号：JPWO2020049789A1

公开(公告)日：2021-08-12

申请号：JP2019017267

申请日：2019-04-23

Applicant: 株式会社村田製作所

Inventor： 井上 義久 ,  河合 良太 ,  後藤 雄一

IPC: B81B3/00 ,  H03H9/24

Abstract: 共振子(10)は、基部(130)と、圧電膜(F3)、上部電極E2及び下部電極E1を有する少なくとも3つの振動腕(121A〜D)と、保持部(140)と、保持腕(150)と、を備え、少なくとも3つの振動腕(121A〜D)の各振動腕(121A〜D)は、腕部(123A〜D)と先端部(122A〜D)とを有し、保持腕(150)は、外側振動腕(121A)と並行して延在する保持側腕(153A)を有し、外側振動腕(121A)の先端部(122A)と保持部(140)との間のリリース幅(12Wa)は、保持側腕(153A)と保持部(140)との間のリリース幅(15Wa)、又は、外側振動腕(121A)の腕部(123A)と保持側腕(153A)との間のリリース幅(15Wb)よりも大きい。