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公开(公告)号：JP2021085884A
公开(公告)日：2021-06-03
申请号：JP2020199509
申请日：2020-12-01
Applicant: 株式会社東京精密
Inventor： 森井 秀樹
IPC: G01B5/20
Abstract: 【課題】測定対象物の測定データにおける異物の影響を抑制し得る表面性状測定装置及び測定方法を提供する。 【解決手段】表面性状測定装置は、測定対象物110の変位を検出する検出器100と、測定対象物の測定及び清掃を制御する制御装置とを備え、検出器は、測定対象物に接触させる接触子102と、接触子が先端部104Cに付け替え可能に取り付けられるアーム104と、アームの先端部に接触子と付け替え可能に取り付けられる清掃部材114であり、測定対象物に接触させて測定対象物に付着した異物を除去する清掃部材と、アームを介して接触子又は清掃部材のいずれかに対して付勢力を付与する測定力付与部106と、アームを介して接触子の変位を検出する変位検出部108とを備え、制御装置は、アームの先端部に接触子が取り付けられた場合は測定モードを実施し、アームの先端部に清掃部材が取り付けられた場合は清掃モードを実施する。 【選択図】図1
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公开(公告)号：JP2019152531A
公开(公告)日：2019-09-12
申请号：JP2018037713
申请日：2018-03-02
Applicant: 株式会社東京精密
Inventor： 森井 秀樹
IPC: G01B5/20
Abstract: 【課題】カバー内部の温度を短時間で安定させて高精度な測定を行う形状測定装置を提供する。 【解決手段】装置本体を囲繞する第1カバーと、温調した空気を第2カバーによって区画された本体室及び被測定物室にそれぞれ第1風量及び第2風量で送風する温調機と、本体室の温度に応じて温調機の送風温度を設定する温度設定部と、被測定物室の温度に応じて第1風量及び第2風量の比率を設定する風量比設定部と、を備えた形状測定装置によって上記課題を解決する。 【選択図】図2
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公开(公告)号：JP2021148771A
公开(公告)日：2021-09-27
申请号：JP2021003451
申请日：2021-01-13
Applicant: 株式会社東京精密
IPC: G01B21/20
Abstract: 【課題】プローブの位置を適切にアライメントすることができる内面形状測定機、及び内面形状測定機のアライメント方法を提供する。 【解決手段】ワークWに形成された細穴Hの内面形状を測定する内面形状測定機10であって、ワークWを回転軸周りに回転させる回転体16及び直動傾斜ステージ18と、ワークの細穴Hに挿入可能な細長のプローブ30と、プローブの姿勢を調整可能なプローブ直動傾斜機構28と、回転体16と一体となって回転可能に構成され、回転軸Cを中心とする回転軌道上の少なくとも3つの周方向位置からプローブ30を撮影するカメラ32と、各周方向位置でカメラ32が撮影した撮影画像に基づき、プローブ直動傾斜機構28によりプローブの姿勢を調整する制御装置50と、を備える。 【選択図】図1
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Patent Agency Ranking
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公开(公告)号：JP6810882B1
公开(公告)日：2021-01-13
申请号：JP2019214039
申请日：2019-11-27
Applicant: 株式会社東京精密
Inventor： 森井 秀樹
Abstract: 【課題】測定対象物の測定データにおける異物の影響を抑制し得る検出器、表面性状測定装置及び測定方法を提供する。 【解決手段】測定対象物(110)に接触させる接触子(102)と、接触子が先端部(104B)に取り付けられるアーム(104)と、アームの先端部に取り付けられる清掃部材であり、測定対象物に接触させて測定対象物に付着した異物を除去する清掃部材(114)と、測定対象物に対して接触子を接触させるか又は清掃部材を接触させるかを切り替える接触切替部と、アームを介して接触子又は清掃部材のいずれかに対して付勢力を付与する測定力付与部(106)と、アームを介して接触子の変位を検出する変位検出部(108)と、を備える。 【選択図】図1
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公开(公告)号：JP2018163093A
公开(公告)日：2018-10-18
申请号：JP2017061387
申请日：2017-03-27
Applicant: 株式会社東京精密
Inventor： 森井 秀樹
Abstract: 【課題】複数の面を自動的に測定し、測定に要する時間を短縮する検出器、表面性状測定機、及び真円度測定機を提供する。 【解決手段】測定対象物の表面に接触する接触子104を支持するスタイラス102と、スタイラス102を保持する保持部106と、保持部106を回転軸108によって揺動自在に保持し、保持部106の変位を検出する測定部110と、測定部110を収納する本体部と、を備え、保持部106は、スタイラス102の軸であるスタイラス軸cと本体部の軸である本体軸bとを平行に、かつスタイラス軸cと本体軸bとを本体軸b及び回転軸108に直交する第1方向にオフセットしてスタイラス102を保持する検出器24を備える。 【選択図】図7
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公开(公告)号：JP2018163092A
公开(公告)日：2018-10-18
申请号：JP2017061385
申请日：2017-03-27
Applicant: 株式会社東京精密
Inventor： 森井 秀樹
Abstract: 【課題】スティッチング測定により被測定面の表面形状測定を行う際の測定時間を効果的に短縮できる表面形状測定装置及びそのスティッチング測定方法を提供する。 【解決手段】測定対象物Pのステージ10と、白色干渉計の光学部2と、測定光の光路長を変化させる走査手段と、被測定面Sの面内方向移動手段35と、被測定面Sの概略形状情報を取得する概略形状取得手段と概略形状情報に基づいて被測定面Sを傾斜状領域と平坦状領域とで構成された複数の測定面に分割する被測定面分割手段74と、分割した各測定面について表面形状を測定走査するのに最小限必要な最小走査範囲を設定する最小走査範囲設定手段76と、分割した測定面と設定した最小走査範囲とに基づいて光学部2が測定した複数の測定データを接続するデータ接続手段78と、を備えた。 【選択図】図1
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公开(公告)号：JP2018146391A
公开(公告)日：2018-09-20
申请号：JP2017041711
申请日：2017-03-06
Applicant: 株式会社東京精密
Inventor： 森井 秀樹
IPC: G01B11/24
Abstract: 【課題】被測定面の表面形状測定を行う際の対物レンズの選択及び光量調整を適正に行うので表面形状測定を高精度化できる表面形状測定装置及び方法を提供する。 【解決手段】測定対象物Pのステージ10、白色干渉計の光学部2、被測定面Sの面内方向移動手段35、被測定面Sの概略形状情報を取得する概略形状取得手段、概略形状情報に基づいて被測定面Sを傾斜状領域と平坦状領域との複数の測定面に分割する被測定面分割手段74、傾斜状領域と平坦状領域とによって倍率の異なる対物レンズ50を選択する対物レンズ選択手段75及び光源40の光量を調整する光量調整手段76、複数の測定面の表面形状を個々に測定する測定面形状測定手段77、測定した複数の測定データを接続するデータ接続手段78、を備えた。 【選択図】図1
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