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公开(公告)号：CN1130934A
公开(公告)日：1996-09-11
申请号：CN94193363.6
申请日：1994-09-12
Applicant: 株式会社横田制作所
IPC: F04D29/08
CPC classification number: F04D29/126 , F05B2260/602
Abstract: 本发明涉及在高纯度药品、超大规模集成电路的制造装置的超纯水管路等中用于输送高纯度液体的、能防止内部产生粉尘的泵装置。该装置的特征是，通过使轴密封装置的旋转环与固定环以适当的间隙保持非接触状态，而由滑动面间隙向装置系统外部产生一定量的泄漏，从而能使泵内部不会产生粉尘以及防止不纯物进入，因而能保持高纯度的液质。通过在泵的运转过程中使叶轮产生适当的、向着一个方向的、水力学意义上的轴推力，以消除因轴承内部间隙造成的游隙，而在轴密封装置的旋转环和固定环的滑动面之间形成一定的间隙以保持非接触状态，并且在运转过程中也能从外部调整固定环的位置，以使来自滑动面间隙的泄漏保持最适当的量。由于具有以上构成，从而能够得到容易维修保养、适用于高纯度液质的、合理的无粉尘泵装置。
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公开(公告)号：CN1055747C
公开(公告)日：2000-08-23
申请号：CN94193363.6
申请日：1994-09-12
Applicant: 株式会社横田制作所
IPC: F04D29/08
CPC classification number: F04D29/126 , F05B2260/602
Abstract: 本发明涉及在高纯度药品、超大规模集成电路的制造装置的超纯水管路等中用于输送高纯度液体的、能防止内部产生粉尘的泵装置。该装置的特征是，通过使轴密封装置的旋转环与固定环以适当的间隙保持非接触状态，而由滑动面间隙向装置系统外部产生一定量的泄漏，从而能使泵内部不会产生粉尘以及防止不纯物进入，因而能保持高纯度的液质。通过在泵的运转过程中使叶轮产生适当的、向着一个方向的、水力学意义上的轴推力，以消除因轴承内部间隙造成的游隙，而在轴密封装置的旋转环和固定环的滑动面之间形成一定的间隙以保持非接触状态，并且在运转过程中也能从外部调整固定环的位置，以使来自滑动面间隙的泄漏保持最适当的量。由于具有以上构成，从而能够得到容易维修保养、适用于高纯度液质的、合理的无粉尘泵装置。
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公开(公告)号：CN1187529C
公开(公告)日：2005-02-02
申请号：CN00812386.1
申请日：2000-07-05
Applicant: 株式会社横田制作所
IPC: F04D9/04
Abstract: 本发明取得高性能而且多目的的泵装置，不仅连大量含有气泡的液体都能连续吸引输送，而且还能发挥高度的脱泡作用、脱气作用进而扬液的杀菌作用等，其构成的主要特征在于：在输液用主泵的扬液流路中设置气液分离用叶轮，并设置空穴挡板，用以阻挡由于该气流分离用叶轮的回转而发生的龙卷风状空穴的尾底部，以阻止该龙卷风状空穴的伸展，同时面向该龙卷风状空穴的中央部附近处是利用排气通路与真空装置连接。
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公开(公告)号：CN1372619A
公开(公告)日：2002-10-02
申请号：CN00812386.1
申请日：2000-07-05
Applicant: 株式会社横田制作所
IPC: F04D9/04
Abstract: 本发明取得高性能而且多目的的泵装置,不仅连大量含有气泡的液体都能连续吸引输送,而且还能发挥高度的脱泡作用、脱气作用进而扬液的杀菌作用等,其构成的主要特征在于:在输液用主泵的扬液流路中设置气液分离用叶轮,并设置空穴挡板,用以阻挡由于该气流分离用叶轮的回转而发生的龙卷风状空穴的尾底部,以阻止该龙卷风状空穴的伸展,同时面向该龙卷风状空穴的中央部附近处是利用排气通路与真空装置连接。
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