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公开(公告)号：CN114901414B
公开(公告)日：2023-10-31
申请号：CN202180008007.6
申请日：2021-01-07
Applicant: 株式会社欧利生
Abstract: 氧化物去除装置具备腔室、排出腔室内的流体的排出部、对部件进行加热的加热部、具有生成还原气体的汽化器的还原气体供给部和控制装置。控制装置控制各部分，使得在实质性地全部排出腔室内流体之后，对部件T进行加热，并且在1000Pa以上且不足还原气体的饱和蒸气压下向腔室内实质性地填充还原气体。对于氧化物已去除部件的制造方法，向腔室内导入部件，加热至规定的温度，实质性地全部排出腔室内的流体，之后，在1000Pa以上且不足还原气体的饱和蒸气压下向腔室内实质性地填充还原气体，在还原气体气氛下对加热至规定温度的部件的氧化物进行还原。
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公开(公告)号：CN114901414A
公开(公告)日：2022-08-12
申请号：CN202180008007.6
申请日：2021-01-07
Applicant: 株式会社欧利生
Abstract: 氧化物去除装置具备腔室、排出腔室内的流体的排出部、对部件进行加热的加热部、具有生成还原气体的汽化器的还原气体供给部和控制装置。控制装置控制各部分，使得在实质性地全部排出腔室内流体之后，对部件T进行加热，并且在1000Pa以上且不足还原气体的饱和蒸气压下向腔室内实质性地填充还原气体。对于氧化物已去除部件的制造方法，向腔室内导入部件，加热至规定的温度，实质性地全部排出腔室内的流体，之后，在1000Pa以上且不足还原气体的饱和蒸气压下向腔室内实质性地填充还原气体，在还原气体气氛下对加热至规定温度的部件的氧化物进行还原。
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