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公开(公告)号:CN102046330A
公开(公告)日:2011-05-04
申请号:CN200980120615.5
申请日:2009-04-02
Applicant: 株式会社石井表记
CPC classification number: B24B29/06 , B24B41/06 , H05K3/26 , H05K2203/025 , H05K2203/1509
Abstract: 本发明提供一种研磨装置及研磨方法。所述研磨装置中,在由输送具有挠性的板状工件(P)的多个输送辊(6、9)形成的输送路径(3A、3B、3C)的中途,对置配置夹持板状工件(P)的一对夹持辊(12、13),利用所述夹持辊(12、13)将板状工件(P)沿上下方向传送,并且在对置配置的一对抛光辊(14、15)之间利用所述抛光辊(14、15)同时研磨传送来的该板状工件(P)的两面。
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公开(公告)号:CN102046330B
公开(公告)日:2013-06-19
申请号:CN200980120615.5
申请日:2009-04-02
Applicant: 株式会社石井表记
CPC classification number: B24B29/06 , B24B41/06 , H05K3/26 , H05K2203/025 , H05K2203/1509
Abstract: 本发明提供一种研磨装置及研磨方法。所述研磨装置中,在由输送具有挠性的板状工件(P)的多个输送辊(6、9)形成的输送路径(3A、3B、3C)的中途,对置配置夹持板状工件(P)的一对夹持辊(12、13),利用所述夹持辊(12、13)将板状工件(P)沿上下方向传送,并且在对置配置的一对抛光辊(14、15)之间利用所述抛光辊(14、15)同时研磨传送来的该板状工件(P)的两面。
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