公开(公告)号：CN103238077A

公开(公告)日：2013-08-07

申请号：CN201180057125.2

申请日：2011-11-16

Applicant: 株式会社精研

Inventor： 富冈宏之

IPC: G01R1/067 ,  G01R1/073 ,  G01R31/26

CPC classification number: G01R1/06711 ,  G01R1/0466 ,  G01R1/06722 ,  G01R1/06738 ,  H01R13/24 ,  H01R2201/20

Abstract: 由于引导探针的柱塞的引导孔需要烦琐的孔加工，所以很难对应端子或电极的窄间距化以及多极化。在形成于上侧块（10）以及下侧块（11）的圆筒状的保持孔（12、15）安装探针（2）。探针的柱塞（6）具有板状的引导部（19a）和其前端的接触部（19b）。在上侧块（10）上从下方形成有有底的保持孔（12），并且从上表面（s）形成有引导槽（13）。在该引导槽（13），所述引导部（19a）止转并且以可防脱地上下移动的方式被引导。

公开(公告)号：CN103238077B

公开(公告)日：2015-07-22

申请号：CN201180057125.2

申请日：2011-11-16

Applicant: 株式会社精研

Inventor： 富冈宏之

IPC: G01R1/04 ,  G01R1/067

CPC classification number: G01R1/06711 ,  G01R1/0466 ,  G01R1/06722 ,  G01R1/06738 ,  H01R13/24 ,  H01R2201/20

Abstract: 由于引导探针的柱塞的引导孔需要烦琐的孔加工，所以很难对应端子或电极的窄间距化以及多极化。在形成于上侧块（10）以及下侧块（11）的圆筒状的保持孔（12、15）安装探针（2）。探针的柱塞（6）具有板状的引导部（19a）和其前端的接触部（19b）。在上侧块（10）上从下方形成有有底的保持孔（12），并且从上表面（s）形成有引导槽（13）。在该引导槽（13），所述引导部（19a）止转并且以可防脱地上下移动的方式被引导。