公开(公告)号：CN102792130A

公开(公告)日：2012-11-21

申请号：CN201080065429.9

申请日：2010-09-16

Applicant: 株式会社菊池制作所

Inventor： 椛泽康成 ,  大冈二郎

IPC: G01F1/00 ,  B81B3/00 ,  G01F1/42 ,  G01F15/14 ,  H01L29/84

CPC classification number: G01F1/684 ,  G01F1/383 ,  G01F1/42 ,  G01F1/46 ,  G01F1/6842 ,  G01F1/6845 ,  G01F15/14 ,  H01L2224/48091 ,  H01L2924/1461 ,  H01L2924/00014 ,  H01L2924/00

Abstract: 一种流量传感器，在表面安装型的封装体中内置流量检测单元。具备：流体流路（70），形成于封装体（12）内，将流体从设于封装体（12）的下表面的流入口（30）通过流量检测单元导引至设于封装体（12）的下表面的流出口（32）；以及外部端子（40），设于封装体（12）的外表面，导引流量检测单元的电气输出。液体与气体的任一种都能使用。适于小型化，能表面安装于电子电路基板等，可靠度高。