公开(公告)号：CN102802864A

公开(公告)日：2012-11-28

申请号：CN201180014728.4

申请日：2011-03-30

Applicant: 株式会社藤仓

Inventor： 胁冈宽之

IPC: B23K26/36 ,  B23K26/00 ,  B23K26/04 ,  B23K26/40 ,  H01L23/15 ,  H01L23/52 ,  H05K3/40 ,  H05K3/00

CPC classification number: H01L21/4803 ,  B23K26/0006 ,  B23K26/0624 ,  B23K26/361 ,  B23K2103/56 ,  H01L21/4846 ,  H01L23/473 ,  H01L2924/0002 ,  H05K3/002 ,  H05K2203/107 ,  Y10T428/24273 ,  H01L2924/00

Abstract: 一种微细构造的形成方法，其具备：工序A，向基板中设置呈孔状的微细构造的区域照射具有皮秒量级以下的脉冲时间宽度的激光，并使所述激光聚光的焦点进行扫描来形成改性部；以及工序B，对形成了所述改性部的所述基板进行蚀刻处理，除去所述改性部来形成微细构造，其中，在所述工序A中，使用直线偏振激光作为所述激光，并按照所述直线偏振的朝向相对于使所述焦点扫描的方向为恒定的方向的方式照射所述激光。

公开(公告)号：CN102823334A

公开(公告)日：2012-12-12

申请号：CN201180014588.0

申请日：2011-04-08

Applicant: 株式会社藤仓

Inventor： 胁冈宽之

IPC: H05K3/10 ,  H05K3/00

CPC classification number: H05K3/002 ,  H05K3/101 ,  H05K3/107 ,  H05K3/4038 ,  H05K2203/107 ,  H05K2203/108 ,  H05K2203/128 ,  Y10T428/24273 ,  Y10T428/24479 ,  Y10T428/24744

Abstract: 本发明涉及微细构造的形成方法、激光照射装置、以及基板。该微细构造的形成方法包括：工序A，向基板中设置孔状或者槽状的微细构造的区域照射脉冲时间宽度具有皮秒量级以下的脉冲宽度的圆偏振光或者椭圆偏振激光，并扫描上述激光聚光的焦点来形成改性部；以及工序B，对形成了上述改性部的上述基板进行蚀刻处理，除去上述改性部来形成微细构造。

公开(公告)号：CN103430636A

公开(公告)日：2013-12-04

申请号：CN201280012422.X

申请日：2012-05-11

Applicant: 株式会社藤仓

Inventor： 山本敏 ,  胁冈宽之

IPC: H05K1/11 ,  H01L23/12 ,  H01L25/065 ,  H01L25/07 ,  H01L25/18

CPC classification number: H05K1/115 ,  H01L23/49827 ,  H01L25/0657 ,  H01L2224/16225 ,  H01L2225/06517 ,  H01L2225/06572 ,  H01L2924/1461 ,  H01L2924/15172 ,  H01L2924/15182 ,  H01L2924/157 ,  H01L2924/15787 ,  H01L2924/15788 ,  H01L2924/1579 ,  H05K7/005 ,  H01L2924/00

Abstract: 本发明的贯通布线基板具有：单一基板，其具有第一主面和第二主面；多根贯通布线，它们具有相互平行地延伸设置的第一部位，并且将所述第一主面和所述第二主面连结，以与所述第一主面和所述第二主面中至少一方垂直地延伸且贯穿所述第一部位的中心的假想轴相互平行且分离的方式设置有彼此相邻的所述贯通布线。