公开(公告)号：CN108352287B

公开(公告)日：2020-04-28

申请号：CN201680063736.0

申请日：2016-12-02

Applicant: 株式会社藤仓

Inventor： 荒井大辅

IPC: H01J47/06

Abstract: 提供使用于气体检测器(100)的离子过滤器(1)。具有绝缘性基材(11)、形成在绝缘性基材(11)的一个主面上的第一导电层图案(12)、形成在绝缘性基材(11)的另一主面上的第二导电层图案(13)、以及沿着绝缘性基材(11)的厚度方向所形成的多个贯通孔(30)，绝缘性基材(11)的一个主面被配置在气体检测器(100)中的电子的移动方向的上游侧，绝缘性基材(11)的另一主面被配置在气体检测器中的电子的移动方向的下游侧，第一导电层图案(12)的线宽度(W12)比第二导电层图案(13)的线宽度(W13)大。

公开(公告)号：CN107078017B

公开(公告)日：2019-09-20

申请号：CN201580049701.7

申请日：2015-09-10

Applicant: 株式会社藤仓

Inventor： 荒井大辅

IPC: H01J47/06 ,  G01T1/18 ,  H01J1/46 ,  H01J9/14

Abstract: 本发明涉及离子过滤器以及其制造方法。构成为具有绝缘性基材(11)、形成在绝缘性基材(11)的一个主面上的第一导电层(12)、形成在绝缘性基材(11)的另一主面上的第二导电层(13)、和沿着绝缘性基材(11)的厚度方向所形成的多个贯通孔30，并使第一导电层(12)的第一厚度(th1)和第二导电层(13)的第二厚度(th2)不同。

公开(公告)号：CN108352287A

公开(公告)日：2018-07-31

申请号：CN201680063736.0

申请日：2016-12-02

Applicant: 株式会社藤仓

Inventor： 荒井大辅

IPC: H01J47/06

Abstract: 提供使用于气体检测器(100)的离子过滤器(1)。具有绝缘性基材(11)、形成在绝缘性基材(11)的一个主面上的第一导电层图案(12)、形成在绝缘性基材(11)的另一主面上的第二导电层图案(13)、以及沿着绝缘性基材(11)的厚度方向所形成的多个贯通孔(30)，绝缘性基材(11)的一个主面被配置在气体检测器(100)中的电子的移动方向的上游侧，绝缘性基材(11)的另一主面被配置在气体检测器中的电子的移动方向的下游侧，第一导电层图案(12)的线宽度(W12)比第二导电层图案(13)的线宽度(W13)大。

公开(公告)号：CN107078017A

公开(公告)日：2017-08-18

申请号：CN201580049701.7

申请日：2015-09-10

Applicant: 株式会社藤仓

Inventor： 荒井大辅

IPC: H01J47/06 ,  G01T1/18 ,  H01J1/46 ,  H01J9/14

Abstract: 本发明涉及离子过滤器以及其制造方法。构成为具有绝缘性基材(11)、形成在绝缘性基材(11)的一个主面上的第一导电层(12)、形成在绝缘性基材(11)的另一主面上的第二导电层(13)、和沿着绝缘性基材(11)的厚度方向所形成的多个贯通孔30，并使第一导电层(12)的第一厚度(th1)和第二导电层(13)的第二厚度(th2)不同。