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公开(公告)号:CN103245302A
公开(公告)日:2013-08-14
申请号:CN201210487146.4
申请日:2012-11-26
Applicant: 株式会社高岳制作所
Inventor: 石原满宏
IPC: G01B11/24
CPC classification number: G01B11/24 , G02B21/0028 , G02B21/0044 , G02B21/006 , G02B21/008
Abstract: 根据一个实施例,一种三维形状测量装置至少包括:提供有多个共焦孔的孔板,所述多个共焦孔被二维设置为具有预定设置周期;以及孔板位移部,其使孔板在垂直于光轴方向的预定方向上以恒定速度产生位移。此外,孔板提供有盖构件,该盖构件与孔板整体地移动并包括透明体,该透明体允许来自光源的光束通过其中并照射到多个共焦孔,并且保护多个共焦孔避免灰尘。此外,考虑到包括盖构件的透明体的整个光学系统的光学特性来设计成像光学系统,每一反射光束通过该成像光学系统引导到光检测器。
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公开(公告)号:CN103309030A
公开(公告)日:2013-09-18
申请号:CN201210488295.2
申请日:2012-11-26
Applicant: 株式会社高岳制作所
Inventor: 石原满宏
CPC classification number: G02B7/16 , G02B21/0024 , G02B21/248
Abstract: 根据一个实施例,一种焦点位置改变设备设置在具有光源和物镜的共焦光学设备的光路上并配置为改变所述物镜在所述物镜的光轴方向上的焦点位置,所述焦点位置改变设备至少包括多个光路改变块和旋转板。所述多个光路改变块中的每一个彼此的折射率和厚度的至少之一不同。在旋转板上,所述多个光路改变块沿所述旋转板的旋转方向布置以与所述物镜的光轴交叉。并且抗反射层形成于所述旋转板的在所述光源一侧的表面上的预定区域中。
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公开(公告)号:CN104067158A
公开(公告)日:2014-09-24
申请号:CN201380001083.X
申请日:2013-03-14
Applicant: 株式会社高岳制作所
Inventor: 石原满宏
CPC classification number: G01B11/24 , G01B11/0608 , G02B7/1805 , G02B21/0044
Abstract: 在一轴的移动工作台上安装共焦开口阵列、和在内部具有楔子型空间的移动棱镜,在移动工作台的外部设置具有楔子型顶角的固定棱镜。通过移动工作台的移动实现开口的XY扫描,与此同时,通过移动棱镜和固定棱镜的对,等效平行平面基板的厚度变化,也同时实现焦点移动(Z扫描)。
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公开(公告)号:CN1610817A
公开(公告)日:2005-04-27
申请号:CN03801794.6
申请日:2003-03-03
Applicant: 株式会社高岳制作所
Inventor: 石原满宏
IPC: G01B11/24
Abstract: 一种偏振方向测定型两维光接收时标测定装置,和使用它的表面形状测量装置,该测定装置用于实现能适合动物身体测量的快速表面形状测量。图8中,测定光的偏振方向与狭缝光的扫描同步地转动,并用两组按交叉Nicols排列的偏振器(5、6)和存储器类型像测定器(7、8),在两维上记录偏振方向,从而能够只用一次成像,确定狭缝光入射存储器类型像测定器(7、8)相应像素的时标。
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