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公开(公告)号：CN105557082B
公开(公告)日：2018-09-11
申请号：CN201480050260.8
申请日：2014-09-11
Applicant: 株式会社高永科技
IPC: G01N21/956
CPC classification number: G01N21/8851 , G01N21/956 , G01N21/95607 , G01N21/95684 , G01N2021/8896 , G01N2021/95638 , G01N2201/121 , G06T5/006 , G06T2207/20076 , G06T2207/30141
Abstract: 本发明涉及基板检查时的补偿矩阵生成方法。所述方法包括：在基板上的测量区域(FOV)内，任意选择预先设置的N1(N1≥2)个特征客体的信息的步骤；以所述基板上的提取的特征客体的信息为基础，生成第一补偿矩阵的步骤；把所述测量区域内的所有特征客体应用于所述补偿矩阵，并比较所述所有特征客体的各个偏移值与预先设置的基准值，从而对所述所有特征客体的各个偏移值不足于所述预先设置的基准值的特征客体的数量进行计数的步骤；把所述步骤反复执行N2次(N2≥1)，在所述计数的特征客体的数量为最大的情况下，利用具有不足于所述预先设置的基准值的偏移值的特征客体的信息，生成第二补偿矩阵的步骤。
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公开(公告)号：CN109804731A
公开(公告)日：2019-05-24
申请号：CN201780062874.1
申请日：2017-09-25
Applicant: 株式会社高永科技
Abstract: 基板检查装置包括：测量部，其获得测量数据；处理部，其以多个特征对象为基础，执行基板的翘曲补偿，检查翘曲被补偿的基板；显示部，其显示用于调节由翘曲补偿决定的检查速度的第一级别及翘曲补偿的精密度的第二级别所需的范围；及输入部，其从使用者接受输入检查速度的第一级别及精密度的第二级别作为交替换位关系的特定设置组合。处理部在设置检查速度及精密度时，在用于提高翘曲补偿精密度所需的多个选项中，指定成应用与设置的检查速度及精密度相应的特定选项。因此，能够提高使用者的便利性，使用者可以容易地设置歪曲补偿所需的选项。
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公开(公告)号：CN105593636A
公开(公告)日：2016-05-18
申请号：CN201480054313.3
申请日：2014-10-22
Applicant: 株式会社高永科技
IPC: G01B11/00 , G01B11/30 , G01N21/956
Abstract: 本发明涉及一种检查基板时的测定区域补偿方法。上述方法包括：判断基板上的第一测定区域的有效性的步骤；在上述第一测定区域(FOV)没有有效性的情况下，在以上述第一测定区域(FOV)为中心来预先设定的半径以内的相邻的多个测定区域中确定多个有效测定区域(FOV)的步骤；在上述多个有效测定区域(FOV)内以上述第一测定区域为中心提取上述预先设定的半径以内的多个特征客体的步骤；以及利用上述所提取的多个特征客体的信息来生成针对上述第一测定区域的补偿矩阵的步骤。根据上述方法，即使在利用第一测定区域内的特征客体的信息来生成的补偿矩阵没有有效性的情况下，也能够提高检查基板时的检查结果的可靠性。
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公开(公告)号：CN105593636B
公开(公告)日：2019-10-01
申请号：CN201480054313.3
申请日：2014-10-22
Applicant: 株式会社高永科技
IPC: G01B11/00 , G01B11/30 , G01N21/956
Abstract: 本发明涉及一种检查基板时的测定区域补偿方法。上述方法包括：判断基板上的第一测定区域的有效性的步骤；在上述第一测定区域(FOV)没有有效性的情况下，在以上述第一测定区域(FOV)为中心来预先设定的半径以内的相邻的多个测定区域中确定多个有效测定区域(FOV)的步骤；在上述多个有效测定区域(FOV)内以上述第一测定区域为中心提取上述预先设定的半径以内的多个特征客体的步骤；以及利用上述所提取的多个特征客体的信息来生成针对上述第一测定区域的补偿矩阵的步骤。根据上述方法，即使在利用第一测定区域内的特征客体的信息来生成的补偿矩阵没有有效性的情况下，也能够提高检查基板时的检查结果的可靠性。
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公开(公告)号：CN105557082A
公开(公告)日：2016-05-04
申请号：CN201480050260.8
申请日：2014-09-11
Applicant: 株式会社高永科技
IPC: H05K13/08
CPC classification number: G01N21/8851 , G01N21/956 , G01N21/95607 , G01N21/95684 , G01N2021/8896 , G01N2021/95638 , G01N2201/121 , G06T5/006 , G06T2207/20076 , G06T2207/30141
Abstract: 本发明涉及基板检查时的补偿矩阵生成方法。所述方法包括：在基板上的测量区域(FOV)内，任意选择预先设置的N1(N1≥2)个特征客体的信息的步骤；以所述基板上的提取的特征客体的信息为基础，生成第一补偿矩阵的步骤；把所述测量区域内的所有特征客体应用于所述补偿矩阵，并比较所述所有特征客体的各个偏移值与预先设置的基准值，从而对所述所有特征客体的各个偏移值不足于所述预先设置的基准值的特征客体的数量进行计数的步骤；把所述步骤反复执行N2次(N2≥1)，在所述计数的特征客体的数量为最大的情况下，利用具有不足于所述预先设置的基准值的偏移值的特征客体的信息，生成第二补偿矩阵的步骤。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN108805821A
公开(公告)日：2018-11-13
申请号：CN201810262417.3
申请日：2014-10-22
Applicant: 株式会社高永科技
Abstract: 本发明涉及一种检查基板时的测定区域补偿方法。上述方法包括：判断基板上的第一测定区域的有效性的步骤；在上述第一测定区域(FOV)没有有效性的情况下，在以上述第一测定区域(FOV)为中心来预先设定的半径以内的相邻的多个测定区域中确定多个有效测定区域(FOV)的步骤；在上述多个有效测定区域(FOV)内以上述第一测定区域为中心提取上述预先设定的半径以内的多个特征客体的步骤；以及利用上述所提取的多个特征客体的信息来生成针对上述第一测定区域的补偿矩阵的步骤。根据上述方法，即使在利用第一测定区域内的特征客体的信息来生成的补偿矩阵没有有效性的情况下，也能够提高检查基板时的检查结果的可靠性。
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公开(公告)号：CN105532085B
公开(公告)日：2018-10-19
申请号：CN201480050250.4
申请日：2014-09-11
Applicant: 株式会社高永科技
IPC: G01N21/956
Abstract: 本发明涉及用于检查基板的基准数据生成方法。所述方法包括：扫描裸基板而获得关于所述裸基板的影像信息的步骤；利用从所述影像信息提取的衬垫坐标信息与预先存储的设计信息上的衬垫坐标信息，生成补偿矩阵的步骤；把所述补偿矩阵应用于所述影像信息而生成包括特征客体的坐标信息的基准数据的步骤。根据所述方法，不生成基板检查时需要的CAD信息，而是迅速地生成基准数据，从而能够使作业效率实现最大化。
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公开(公告)号：CN109804730A
公开(公告)日：2019-05-24
申请号：CN201780060951.X
申请日：2017-09-22
Applicant: 株式会社高永科技
Abstract: 基板检查装置包括测量部、处理部及显示部。测量部获得关于基板的至少一部分的测量数据。处理部以多个选定特征对象为基础，比较基板的测量数据及基板的基准数据，且在相互对应的选定特征对象中相互比较，执行基板的歪曲补偿，检查歪曲被补偿的基板。显示部相互区别地显示作为歪曲补偿成功的区域的第一区域与作为歪曲补偿失败的区域的第二区域。处理部将能识别的有效特征对象的个数与基准个数比较，当能识别的有效特征对象的个数不足基准个数时，判定为歪曲补偿失败。因此，可以提高使用者的便利性，使用者可以容易地挽回歪曲补偿的失败，可以实现准确有效的歪曲补偿。
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公开(公告)号：CN105557081B
公开(公告)日：2018-10-09
申请号：CN201480050252.3
申请日：2014-09-11
Applicant: 株式会社高永科技
IPC: G01N21/956
CPC classification number: G06T7/0004 , G06T2207/30141
Abstract: 本发明涉及一种判断检查基板时的补偿矩阵的有效性的方法。上述方法包括：在基板上的测量区域内求得最外围的多个衬垫的坐标的步骤；在上述基板上的测量区域内求得最外围的多个特征客体的坐标的步骤；针对连接上述最外围的多个衬垫的坐标的第一多边形的第一面积，计算出连接上述第一多边形和上述最外围的多个特征客体的坐标的第二多边形的重叠的第二面积的比率的步骤；以及对上述比率和预先设定的基准值进行比较，来判断补偿矩阵的有效性的步骤。通过上述方法来判断补偿矩阵的有效性，从而能够提高检查基板时的检查结果的可靠性。
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公开(公告)号：CN105557081A
公开(公告)日：2016-05-04
申请号：CN201480050252.3
申请日：2014-09-11
Applicant: 株式会社高永科技
IPC: H05K13/08
CPC classification number: G06T7/0004 , G06T2207/30141
Abstract: 本发明涉及一种判断检查基板时的补偿矩阵的有效性的方法。上述方法包括：在基板上的测量区域内求得最外围的多个衬垫的坐标的步骤；在上述基板上的测量区域内求得最外围的多个特征客体的坐标的步骤；针对连接上述最外围的多个衬垫的坐标的第一多边形的第一面积，计算出连接上述第一多边形和上述最外围的多个特征客体的坐标的第二多边形的重叠的第二面积的比率的步骤；以及对上述比率和预先设定的基准值进行比较，来判断补偿矩阵的有效性的步骤。通过上述方法来判断补偿矩阵的有效性，从而能够提高检查基板时的检查结果的可靠性。
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