公开(公告)号：CN1296470C

公开(公告)日：2007-01-24

申请号：CN03825954.0

申请日：2003-04-11

Applicant: 株式会社ADEKA

Inventor： 小林宏充 ,  仁藤浩久 ,  清水正晶 ,  北村广次

IPC: C11D7/26 ,  G03F7/30 ,  G03F7/32

CPC classification number: C11D7/261 ,  C11D7/263 ,  C11D7/5022 ,  G03F7/322

Abstract: 本发明涉及一种碱显影装置用洗涤剂组合物，其由含有以通式(1)R-O-(AO)n-H(式中，R表示碳原子数2-6的直链或者支链的烷基或者苯基，A表示相同或者不同的碳原子数为2-4的亚烷基，n为0≤n≤20的数)表示的1种或者2种以上的一羟基化合物为必须成分的酸性水溶液构成。根据本发明，提供有效除去称之为浮渣的难溶性附着物的碱显影装置用洗涤剂组合物。