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公开(公告)号:CN101161601B
公开(公告)日:2012-08-22
申请号:CN200710181908.7
申请日:2007-10-12
Applicant: 株式会社ADEKA
CPC classification number: C23C18/1208 , C09D1/00 , C23C18/127 , C23C18/1283 , H01G4/1218 , H01G9/2031 , H01L21/31691 , H01L28/40 , Y02E10/542 , Y02P70/521
Abstract: 提供了在采用湿式涂布法的钛酸类陶瓷膜的制造中,以少的涂布工序制造良好膜质的涂布液以及膜的制造方法。涂布液,以及利用该涂布液的钛酸类陶瓷膜的制造方法,该涂布液的特征在于,由下述成分(A)、(B)、(C):(A)具有至少一个钛原子以及至少一个碳数为2~12的脂肪族有机酸残基为必需的基,不包含这些以外的基的有机酸钛化合物和,(B)平均粒径为10~100nm的钛酸类化合物微粒和,(C)有机溶剂组成,上述成分(A)的含量以钛原子换算为0.1~1.5mol/kg,并且上述成分(B)的含量以钛原子换算为0.1~1.5mol/kg。
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公开(公告)号:CN101161601A
公开(公告)日:2008-04-16
申请号:CN200710181908.7
申请日:2007-10-12
Applicant: 株式会社ADEKA
CPC classification number: C23C18/1208 , C09D1/00 , C23C18/127 , C23C18/1283 , H01G4/1218 , H01G9/2031 , H01L21/31691 , H01L28/40 , Y02E10/542 , Y02P70/521
Abstract: 提供了在采用湿式涂布法的钛酸类陶瓷膜的制造中,以少的涂布工序制造良好膜质的涂布液以及膜的制造方法。涂布液,以及利用该涂布液的钛酸类陶瓷膜的制造方法,该涂布液的特征在于,由下述成分(A)、(B)、(C):(A)具有至少一个钛原子以及至少一个碳数为2~12的脂肪族有机酸残基为必需的基,不包含这些以外的基的有机酸钛化合物和,(B)平均粒径为10~100nm的钛酸类化合物微粒和,(C)有机溶剂组成,上述成分(A)的含量以钛原子换算为0.1~1.5摩尔/kg,并且上述成分(B)的含量以钛原子换算为0.1~1.5摩尔/kg。
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