公开(公告)号：CN102308018A

公开(公告)日：2012-01-04

申请号：CN201080007118.7

申请日：2010-02-04

Applicant: 株式会社IHI

Inventor： 重田谕吉 ,  青柳邦彦 ,  野濑裕之

IPC: C23C14/24 ,  B82B3/00 ,  H01L29/06

CPC classification number: C23C14/0605 ,  B81C1/00031 ,  B81C2201/0188 ,  C23C14/04 ,  C23C14/14 ,  C23C14/22 ,  C23C14/24

Abstract: 本发明涉及细微结构物的蒸镀装置以及方法。具有：表面弹性波元件（10），具有隔开间隔而位于压电体（11）的表面的至少一对电极（12、13）；真空蒸镀装置（20），能够在表面弹性波元件的表面真空蒸镀两种以上的物质A、B；以及高频施加装置（30），在表面弹性波元件的电极间施加高频电压，在利用所述高频电压的施加而表面弹性波元件的表面产生表面弹性波的驻波的状态下构成多个薄膜层，在驻波的特定位置蒸镀细微结构物。

公开(公告)号：CN102308018B

公开(公告)日：2014-10-01

申请号：CN201080007118.7

申请日：2010-02-04

Applicant: 株式会社IHI

Inventor： 重田谕吉 ,  青柳邦彦 ,  野濑裕之

IPC: C23C14/24 ,  B82B3/00 ,  H01L29/06

CPC classification number: C23C14/0605 ,  B81C1/00031 ,  B81C2201/0188 ,  C23C14/04 ,  C23C14/14 ,  C23C14/22 ,  C23C14/24

Abstract: 本发明涉及细微结构物的蒸镀装置以及方法。具有：表面弹性波元件（10），具有隔开间隔而位于压电体（11）的表面的至少一对电极（12、13）；真空蒸镀装置（20），能够在表面弹性波元件的表面真空蒸镀两种以上的物质A、B；以及高频施加装置（30），在表面弹性波元件的电极间施加高频电压，在利用所述高频电压的施加而表面弹性波元件的表面产生表面弹性波的驻波的状态下构成多个薄膜层，在驻波的特定位置蒸镀细微结构物。