公开(公告)号：CN107075720B

公开(公告)日：2019-07-09

申请号：CN201580049436.2

申请日：2015-09-24

Applicant: 株式会社SUMCO

Inventor： 须藤俊明 ,  北原贤 ,  佐藤忠广 ,  北原江梨子 ,  渡边贵

IPC: C30B29/06 ,  C30B15/10

CPC classification number: G01N3/307 ,  C03B19/095 ,  C30B15/10 ,  C30B29/06 ,  C30B35/002 ,  G01N2203/001 ,  G01N2203/0035 ,  G01N2203/0064

Abstract: 提供一种可以在与实际使用状况尽可能接近的状态下进行检查的石英玻璃坩埚的破坏检查方法和是否良好的判定方法。根据本发明的石英玻璃坩埚的破坏检查方法，自动中心冲头10的前端部碰撞石墨基座2上支撑的单晶硅提拉用的石英玻璃坩埚1的内表面，并且评价通过所述自动中心冲头10在内表面的一点上瞬间施加负荷时的内表面的裂痕的状态。

公开(公告)号：CN107075720A

公开(公告)日：2017-08-18

申请号：CN201580049436.2

申请日：2015-09-24

Applicant: 株式会社SUMCO

Inventor： 须藤俊明 ,  北原贤 ,  佐藤忠广 ,  北原江梨子 ,  渡边贵

IPC: C30B29/06 ,  C30B15/10

CPC classification number: G01N3/307 ,  C03B19/095 ,  C30B15/10 ,  C30B29/06 ,  C30B35/002 ,  G01N2203/001 ,  G01N2203/0035 ,  G01N2203/0064

Abstract: 提供一种可以在与实际使用状况尽可能接近的状态下进行检查的石英玻璃坩埚的破坏检查方法和是否良好的判定方法。根据本发明的石英玻璃坩埚的破坏检查方法，自动中心冲头10的前端部碰撞石墨基座2上支撑的单晶硅提拉用的石英玻璃坩埚1的内表面，并且评价通过所述自动中心冲头10在内表面的一点上瞬间施加负荷时的内表面的裂痕的状态。