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公开(公告)号：JPWO2015099001A1
公开(公告)日：2017-03-23
申请号：JP2015554979
申请日：2014-12-25
CPC classification number: G01N21/23 , C03C3/04 , C30B15/10 , C30B29/06 , G01L1/24 , G01L5/0047 , G01N2201/062 , G01N2201/0683 , H04N5/232
Abstract: 石英ガラスルツボ全体の歪み分布を非破壊で測定する。歪み測定装置は、石英ガラスルツボ1にその外側から投光する光源11と、光源11と石英ガラスルツボ1の壁体の外表面との間に配置された第1の偏光板12及び第1の1/4波長板13と、石英ガラスルツボ1の内側に配置されたカメラ14と、カメラ14の撮影方向を制御するカメラ制御機構15と、カメラ14と石英ガラスルツボ1の壁体の内表面との間に配置された第2の偏光板16及び第2の1/4波長板17とを備える。第2の1/4波長板17の光学軸は第1の1/4波長板13の光学軸に対して90度傾けられている。カメラ14は、光源11から投光され、第1の偏光板12、第1の1/4波長板13、石英ガラスルツボ1の壁体、第2の1/4波長板17及び第2の偏光板16を通過した光を撮影する。【選択図】図1
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公开(公告)号：JPWO2016047693A1
公开(公告)日：2017-04-27
申请号：JP2015556325
申请日：2015-09-24
Abstract: 【課題】個々のシリカガラスルツボの容積を正確に把握してシリカガラスルツボ内のシリコン融液の初期液面レベルを事前に予測し、これにより種結晶の着液工程を確実に行う。【解決手段】シリカガラスルツボ内に原料を充填する前にシリカガラスルツボの内表面上の多数点の空間座標を測定し、各測定点を頂点座標とするポリゴンの組み合わせからシリカガラスルツボの内表面の3次元形状を特定し(S11)、シリカガラスルツボ内のシリコン融液の初期液面レベルの予測値を予め設定し(S12)、シリカガラスルツボの内表面の3次元形状に基づいて、初期液面レベルの予測値を満たすシリコン融液の体積を求め(S13)、前記体積を有するシリコン融液の重量を求め(S14)、前記重量を有する原料をシリカガラスルツボに充填し(S15)、初期液面レベルの予測値に基づいて種結晶の着液制御を行う(S17)。【選択図】図1
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公开(公告)号：JPWO2016047694A1
公开(公告)日：2017-04-27
申请号：JP2015555487
申请日：2015-09-24
CPC classification number: Y02P40/57
Abstract: 【課題】実際の使用状況にできるだけ近い状態で検査することが可能な石英ガラスルツボの破壊検査方法及び良否判定方法を提供する。【解決手段】本発明による石英ガラスルツボの破壊検査方法は、グラファイトサセプタ2に支持されたシリコン単結晶引き上げ用石英ガラスルツボ1の内表面にオートセンターポンチ10の先端部を押し当てながらオートセンターポンチ10を介して内表面の一点に瞬間的に荷重を加えたときの内表面のひび割れの状態を評価する。【選択図】図1
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Patent Agency Ranking
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公开(公告)号：JPWO2015099000A1
公开(公告)日：2017-03-23
申请号：JP2015554978
申请日：2014-12-25
CPC classification number: C30B15/10 , C03B19/095 , C30B29/06 , C30B35/002 , Y02P40/57
Abstract: 【課題】高温下での変形が抑制された石英ガラスルツボ及びその製造方法を提供する。【解決手段】石英ガラスルツボ1は、円筒状の直胴部10aと、直胴部10aの下端に形成されたコーナー部10cと、コーナー部10cを介して直胴部10aに接続された底部10bとを有している。また、石英ガラスルツボ1は、外層を構成する気泡を内包する不透明層11と、内層を構成する気泡が除去された透明層12とを備えている。少なくとも直胴部10aにおける不透明層11と透明層12との境界面は、上下方向に周期的な波面を形成している。【選択図】図1
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公开(公告)号：JPWO2015001593A1
公开(公告)日：2017-02-23
申请号：JP2015524914
申请日：2013-06-30
Applicant: 株式会社Sumco
CPC classification number: C30B29/06 , C03B19/095 , C30B15/10 , Y02P40/57
Abstract: 上端が開口し鉛直方向に延びる略円筒形の直胴部、湾曲した底部、および前記直胴部と前記底部とを連結し且つ前記底部よりも曲率が大きいコーナー部を有するルツボであって、前記ルツボの内表面は、溝状の谷が尾根と尾根の間に挟まれた凹凸構造を有し、前記尾根と尾根との平均間隔が、5〜100μmであるシリカガラスルツボである。
Abstract translation: 延伸至所述开口和所述垂直方向上，弯曲的底部部分上的大致圆筒状的上端部的直主体部，并且所述具有角部的坩埚是比连接底部曲率较大的和底部部分和一个直的主体部分，所述 在坩埚的内表面具有一槽状的谷被夹在脊和脊之间的凹凸结构，所述凸脊和脊之间的平均距离是石英玻璃坩埚为5〜100微米。
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公开(公告)号：JPWO2014207942A1
公开(公告)日：2017-02-23
申请号：JP2015523818
申请日：2013-06-29
Applicant: 株式会社Sumco
Abstract: シリカガラスルツボを保持可能なサセプターの内面形状の三次元データと上記ルツボの三次元データに基づき且つ上記サセプターの内表面と上記ルツボの外表面との間に敷設すると上記サセプターの中心軸と上記ルツボの中心軸が実質的に一致する様に形成された成形体を、上記サセプターの内表面と上記ルツボの外表面との間に敷設する工程を備える、シリコン単結晶引き上げ方法である。【選択図】図3
Abstract translation: 中心轴和所述三维数据和所述内表面和坩埚外表面和能够保持所述石英玻璃坩埚基座的坩埚内表面形状的三维数据的基础上，该基座之间架设时基座的坩埚 中心轴大致形成成型体，以便匹配，其包括内表面和基座，硅单晶提拉法的外表面的坩埚之间铺设的步骤。 点域
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公开(公告)号：JPWO2014192163A1
公开(公告)日：2017-02-23
申请号：JP2015519596
申请日：2013-05-31
Applicant: 株式会社Sumco
CPC classification number: C30B15/10 , C03B19/095 , C30B29/06 , C30B35/002 , Y02P40/57
Abstract: 長時間の高温条件下で使用しても、変形が抑制されるシリカガラスルツボとその製造方法を提供することを目的とする。上端が開口し鉛直方向に延びる略円筒形の直胴部、湾曲した底部、及び前記直胴部と前記底部とを連結し且つ前記底部よりも曲率が大きいコーナー部を備えるシリカガラスルツボであって、前記シリカガラスルツボは、内側に透明層、及びその外側に気泡層を備え、前記透明層の内表面側に圧縮応力が残留する圧縮応力層と、前記圧縮応力層と緩やかな応力変化率で隣接している、引張応力が残留する引張応力層とを備えるシリカガラスルツボである。
Abstract translation: 它是在长时间高温条件下使用的，并且其目的是提供一种石英玻璃坩埚的变形被抑制，并且它们的制造方法。 延伸至所述开口和所述垂直方向上，弯曲的底部部分上的大致圆筒状的上端部的直主体部，以及与所述一个角部的石英玻璃坩埚是比连接和底部部分和一个直胴部的底部的曲率较大 中，石英玻璃坩埚，在内侧上的透明层，并且包括在外侧的气泡层，并且压缩应力层的压应力保持在该透明层的内表面侧，与所述压缩应力层的逐步应力变化率 它邻近，石英玻璃坩埚和拉伸应力层的拉伸应力保持。
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