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公开(公告)号:CN107424996B
公开(公告)日:2020-12-18
申请号:CN201710291608.8
申请日:2017-04-28
Applicant: 格罗方德半导体公司
Inventor: 尼古拉斯·文森特·利考西 , E·S·科扎尔斯基 , 古拉密·波奇
IPC: H01L27/088 , H01L27/11 , H01L21/8234
Abstract: 本发明涉及用于半导体装置的结合SADP鳍片及其制造方法,半导体胞元包括衬底、以及含至少五个实质平行鳍片的阵列,此等鳍片是以实质均等鳍宽布置于该衬底上。阵列内至少一对相邻鳍片间包括预定最小间隔距离。阵列具有用于n型半导体装置的第一n型鳍片、及用于p型半导体装置的第一p型鳍片。该第一p型鳍片是与该第一n型鳍片相邻而置并且以预定第一n至p距离与该第一n型鳍片相隔。该第一n至p距离大于该最小间隔距离,并且小于该鳍宽加两倍该最小间隔距离的总和。
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公开(公告)号:CN107424996A
公开(公告)日:2017-12-01
申请号:CN201710291608.8
申请日:2017-04-28
Applicant: 格罗方德半导体公司
Inventor: 尼古拉斯·文森特·利考西 , E·S·科扎尔斯基 , 古拉密·波奇
IPC: H01L27/088 , H01L27/11 , H01L21/8234
Abstract: 本发明涉及用于半导体装置的结合SADP鳍片及其制造方法,半导体胞元包括衬底、以及含至少五个实质平行鳍片的阵列,此等鳍片是以实质均等鳍宽布置于该衬底上。阵列内至少一对相邻鳍片间包括预定最小间隔距离。阵列具有用于n型半导体装置的第一n型鳍片、及用于p型半导体装置的第一p型鳍片。该第一p型鳍片是与该第一n型鳍片相邻而置并且以预定第一n至p距离与该第一n型鳍片相隔。该第一n至p距离大于该最小间隔距离,并且小于该鳍宽加两倍该最小间隔距离的总和。
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