物体观测设备和方法
    3.
    发明公开

    公开(公告)号:CN1158160A

    公开(公告)日:1997-08-27

    申请号:CN96190695.2

    申请日:1996-05-29

    CPC classification number: H05K13/08 G01N21/8806

    Abstract: 一种设备包括:光投射装置1-3,用于将光束通过预定路径投射到一个物体的一个目标观测部分上;循环反射装置4-7,用于沿着一个入射方向反射被目标观测部分所反射的入射光束;以及,光接收装置8和9,用于反射被循环反射装置和目标观测部分所反射并通过该预定光路而到来的光束。这样能够改善维护特性、降低成本并改善检查的准确性。

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