静电电容式传感器
    2.
    发明公开

    公开(公告)号:CN1142167A

    公开(公告)日:1997-02-05

    申请号:CN96107558.9

    申请日:1996-05-24

    CPC classification number: G01P15/0802 G01L9/0073 G01P15/125 G01P2015/084

    Abstract: 具有良好直线性输出的静电电容式传感器,由半导体基板2和固定电极31构成。在基板2上形成有支持部分21和作为可动电极的薄膜部分22,支持部分的上表面与固定基板3阳极焊接。在与固定基板的薄膜部分22相对的面上设有固定电极31。在薄膜部分22中央设有用于固定的突起24,通过固定电极孔固定到基板3上。传感器1受外力时薄膜部分上下位移,根据静电电容变化检测外力。突起24固定薄膜部分22的中央,使其最大位移区域变成环状,改善了传感器输出的直线性。

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