公开(公告)号：CN103765551B

公开(公告)日：2016-07-06

申请号：CN201280043726.2

申请日：2012-08-29

Applicant: 欧瑞康表面解决方案股份公司 ,  普费菲孔

Inventor： S.克拉斯尼策尔 ,  D.伦迪 ,  J.哈格曼

IPC: H01J37/32

CPC classification number: H05H1/24 ,  H01J27/022 ,  H01J37/32045 ,  H01J37/32064

Abstract: 本发明涉及一种等离子体源，所述等离子体源以漂游的方式布置在真空室处，其中，所述等离子体源包括源壳体并且在所述源壳体中设置有与所述源壳体绝缘地布置的细丝，其中，设置有用于测量源壳体与细丝之间的电位降的装置。所测量的电位降可以用于调节对细丝加热的电压。根据本发明设置相应的装置。

公开(公告)号：CN103608893B

公开(公告)日：2016-08-31

申请号：CN201280030387.4

申请日：2012-04-04

Applicant: 欧瑞康表面解决方案股份公司 ,  普费菲孔

Inventor： S.克拉斯尼策尔 ,  D.伦迪 ,  M.莱赫塔勒 ,  K.鲁姆

IPC: H01J37/34 ,  C23C14/34

CPC classification number: C23C14/3485 ,  C23C14/3407 ,  C23C14/3492 ,  C23C14/352 ,  H01J37/3467

Abstract: 本发明涉及一种用于为PVD溅射阴极提供功率脉冲的方法，所述溅射阴极被细分为部分阴极，其中在所述部分阴极处有效的功率脉冲间隔被选择为使得其重叠，由此实现从提供功率的发生器的功率提取不必中断。

公开(公告)号：CN105027255B

公开(公告)日：2017-07-14

申请号：CN201380069485.3

申请日：2013-10-29

Applicant: 欧瑞康表面解决方案股份公司 ,  特吕巴赫

Inventor： D.伦迪

IPC: H01J37/34 ,  C23C14/34

CPC classification number: H02J1/00 ,  C23C14/3464 ,  C23C14/3485 ,  C23C14/35 ,  H01J37/3444 ,  H01J37/3467

Abstract: 本发明涉及一种功率分配器，该功率分配器能够将DC发电机的高的功率连续地并且在不中断DC发电机的功率输出的情况下分配到多于两个的靶上。本发明此外涉及一种溅镀源，该溅镀源包括上述的功率振荡器。

公开(公告)号：CN105027255A

公开(公告)日：2015-11-04

申请号：CN201380069485.3

申请日：2013-10-29

Applicant: 欧瑞康表面解决方案股份公司 ,  特吕巴赫

Inventor： D.伦迪

IPC: H01J37/34 ,  C23C14/34

CPC classification number: H02J1/00 ,  C23C14/3464 ,  C23C14/3485 ,  C23C14/35 ,  H01J37/3444 ,  H01J37/3467

Abstract: 本发明涉及一种功率分配器，该功率分配器能够将DC发电机的高的功率连续地并且在不中断DC发电机的功率输出的情况下分配到多于两个的靶上。本发明此外涉及一种溅镀源，该溅镀源包括上述的功率振荡器。