用于UV辐射源的热光分离
    2.
    发明公开

    公开(公告)号:CN105722607A

    公开(公告)日:2016-06-29

    申请号:CN201480048601.8

    申请日:2014-06-30

    Inventor: O.泽格

    CPC classification number: B05D3/067 F26B3/28

    Abstract: 本发明涉及一种用于在应用区域中以UV辐射加载衬底的设备,其中所述设备包括:不仅辐射UV辐射而且辐射可见光和红外辐射到空间角中的辐射源、主要反射UV辐射并且主要透射VIS和IR辐射的辐射选择性的转向镜,其特征在于,所述转向镜包括至少两个平的镜条带,所述镜条带相互倾斜。

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