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公开(公告)号:CN107085125B
公开(公告)日:2019-06-04
申请号:CN201710293169.4
申请日:2017-04-28
Applicant: 河海大学常州校区
IPC: G01P15/125 , B81B7/02 , B81C1/00
Abstract: 本发明公开了一种变间距的电容式加速度传感器及其制备方法,具体是一种基于MEMS微加工技术的变间距的电容式加速度传感器,利用惯性质量块在外加加速度的作用下与检测电极间的间隙发生改变从而引起等效电容的变化来测定加速度。该发明与集成电路工艺兼容,可以集成信号处理电路,有较高的灵敏度,受环境影响小。通过在硅衬底不同部位进行离子注入形成PN结,利用PN结的单向导电性,实现加速度传感器敏感电容结构动齿与定齿之间的衬底电隔离,防止双向导电,制作工艺简单,可以降低成本,稳定性能好。
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公开(公告)号:CN107085125A
公开(公告)日:2017-08-22
申请号:CN201710293169.4
申请日:2017-04-28
Applicant: 河海大学常州校区
IPC: G01P15/125 , B81B7/02 , B81C1/00
CPC classification number: G01P15/125 , B81B7/02 , B81C1/00047 , B81C1/00055 , B81C1/0038 , B81C1/00539 , B81C2201/0133 , B81C2201/0181
Abstract: 本发明公开了一种变间距的电容式加速度传感器及其制备方法,具体是一种基于MEMS微加工技术的变间距的电容式加速度传感器,利用惯性质量块在外加加速度的作用下与检测电极间的间隙发生改变从而引起等效电容的变化来测定加速度。该发明与集成电路工艺兼容,可以集成信号处理电路,有较高的灵敏度,受环境影响小。通过在硅衬底不同部位进行离子注入形成PN结,利用PN结的单向导电性,实现加速度传感器敏感电容结构动齿与定齿之间的衬底电隔离,防止双向导电,制作工艺简单,可以降低成本,稳定性能好。
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公开(公告)号:CN107104436A
公开(公告)日:2017-08-29
申请号:CN201710351237.8
申请日:2017-05-18
Applicant: 河海大学常州校区
CPC classification number: Y02B10/72 , Y02B90/222 , Y04S20/12 , H02J3/00 , H02J9/061 , H02J13/0006 , H02S10/10 , H02S10/12
Abstract: 本发明公开了一种河道视频监控平台综合供电系统,包括再生能源发电系统、控制器、储能装置、摄像装置和照明系统;再生能源发电系统包括风能发电系统、太阳能发电系统和水能发电系统,风能发电系统、太阳能发电系统和水能发电系统通过直流汇流装置与控制器连接,摄像装置和照明系统均通过逆变电路与控制器连接,储能装置与控制器连接,控制器还外接市电,控制器通过通信网络连接监控中心。本发明的系统有可再生能源供电、储能供电和市电供电,多种供电方式,在电力不可及的地区可也进行视频监控,掌握河面状况,同时适时选择并切换供电方式,以实现对负载的不间断供电,保证视频监控的稳定。
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