公开(公告)号：CN103620795A

公开(公告)日：2014-03-05

申请号：CN201280032106.9

申请日：2012-06-25

Applicant: 法国圣戈班玻璃厂

Inventor： F.克拉博 ,  M.于里安 ,  C.莱德尔 ,  G.吕滕贝格 ,  D.迪皮伊

IPC: H01L31/0392 ,  H01L31/0749 ,  H01L31/032

CPC classification number: H01L31/022425 ,  H01L21/02422 ,  H01L21/02491 ,  H01L21/02568 ,  H01L21/02614 ,  H01L31/0322 ,  H01L31/03923 ,  H01L31/0749 ,  Y02E10/541 ,  Y02P70/521

Abstract: 本发明涉及一种导电衬底，其包括包含碱离子的介电衬底（1）、在所述衬底（1）上所形成的并且包括基于钼的层的电极覆盖层（4）、和在所述衬底（1）上所形成的并且被插入在所述衬底（1）和所述电极覆盖层（4）之间的多层堆叠（2）。所述堆叠（2）包括在所述衬底（1）上所形成的第一不透碱离子的层（2A）、在第一不透碱离子的层（2A）上并且以不同于第一不透碱离子的层（2A）的材料所形成的碱离子保持层（2B）和在碱离子保持层（2B）上并且以不同于碱离子保持层（2B）的材料所形成的第二不透碱离子的层（2A’）。在碱保持层（2B）和第一不透碱层（2A）的厚度之间的比等于2或更多。

公开(公告)号：CN103620795B

公开(公告)日：2016-06-01

申请号：CN201280032106.9

申请日：2012-06-25

Applicant: 法国圣戈班玻璃厂

Inventor： F.克拉博 ,  M.于里安 ,  C.莱德尔 ,  G.吕滕贝格 ,  D.迪皮伊

IPC: H01L31/0392 ,  H01L31/0749 ,  H01L31/032

CPC classification number: H01L31/022425 ,  H01L21/02422 ,  H01L21/02491 ,  H01L21/02568 ,  H01L21/02614 ,  H01L31/0322 ,  H01L31/03923 ,  H01L31/0749 ,  Y02E10/541 ,  Y02P70/521

Abstract: 本发明涉及一种导电衬底，其包括包含碱离子的介电衬底（1）、在所述衬底（1）上所形成的并且包括基于钼的层的电极覆盖层（4）、和在所述衬底（1）上所形成的并且被插入在所述衬底（1）和所述电极覆盖层（4）之间的多层堆叠（2）。所述堆叠（2）包括在所述衬底（1）上所形成的第一不透碱离子的层（2A）、在第一不透碱离子的层（2A）上并且以不同于第一不透碱离子的层（2A）的材料所形成的碱离子保持层（2B）和在碱离子保持层（2B）上并且以不同于碱离子保持层（2B）的材料所形成的第二不透碱离子的层（2A’）。在碱保持层（2B）和第一不透碱层（2A）的厚度之间的比等于2或更多。