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公开(公告)号：CN113607750B
公开(公告)日：2022-06-14
申请号：CN202110896661.7
申请日：2021-08-05
Applicant: 浙江大学
IPC: G01N21/95 , G01N21/958
Abstract: 本发明公开了一种用于光学元件亚表面缺陷检测的装置及方法。本发明将光谱共焦技术、激光散射技术和激光诱导超声技术结合起来，通过色散镜组将激发激光和检测激光同时聚焦到光学元件的不同深度，激发激光在光学元件亚表面产生瞬态热膨胀效应，检测激光观测并分析亚表面缺陷在热膨胀效应作用下的超声振动，由光谱共焦技术获取亚表面缺陷位置散射光的空间分布信息及散射光谱信息。通过利用上述技术得到缺陷的反射光谱、散射光谱、三维形状、缺陷深度等多维度信息，进行亚表面缺陷的损伤表征。本发明适用于对亚表面缺陷有严苛要求的超精密光学元件的成品无损检测。
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公开(公告)号：CN111645061B
公开(公告)日：2025-05-06
申请号：CN202010233229.5
申请日：2020-03-29
Applicant: 浙江大学
Abstract: 本发明提供一种载玻片夹取和固定装置，包括控制模块、底板、步进电机及驱动器、传动机构、导向机构、力传感器和夹爪。控制模块连接力传感器和驱动器，所述的驱动器连接步进电机，力传感器安装夹爪之间或传动机构之间，测量因夹爪运动而产生改变的力的大小，并反馈给控制模块，控制模块接收力传感器的反馈信号，并通过驱动器控制步进电机转动；夹爪连接传动机构和导向机构，传动机构连接步进电机，导向机构约束夹爪的运动；步进电机及驱动器、传动机构和导向机构都安装在底板上。本发明装置将载玻片夹取和固定功能集成在同一装置，并采用力传感器进行反馈，可以整合机构，简化操作，同时降低控制的精度要求，提高了自动显微镜的效率。
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公开(公告)号：CN119882407A
公开(公告)日：2025-04-25
申请号：CN202510361818.4
申请日：2025-03-26
Applicant: 浙江大学 , 浙江日发精密机床有限公司
IPC: G05B11/42
Abstract: 本发明公开了一种高速转台变负载自适应控制方法，所述方法基于闭环控制方式，结合模糊PID控制算法实现微处理器对伺服电机转速和位置的自适应性调控，减少高速转台的调节响应时间和误差，提高转台系统运作稳定性；利用位移传感器反馈高速转台的转过角度给微处理器构成闭环控制系统，建立改进重心拉格朗日插值‑傅里叶谐波合成的位移传感器误差补偿模型，使高速转台在变负载的加工工作环境时依然可以得到高精度的位移测量结果；设计软件操作系统控制实现转台启停、初始化、指令导入等多任务运行，提高高速转台系统的实时性和可检测性。本发明能够用于变负载高速转台情况下的自适应控制，具有精度高、响应快、鲁棒性好的特点。
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公开(公告)号：CN118067713A
公开(公告)日：2024-05-24
申请号：CN202410120782.6
申请日：2024-01-29
Applicant: 浙江大学
Abstract: 本发明公开了一种基于光谱共焦原理的亚表面缺陷全内反射检测装置和方法。本发明包括，包括宽光谱光源、入射光路系统、色散镜组、检测光路系统、光谱检测装置、运动平台以及全内反射系统。本发明首创将光谱共焦线扫描测量和全内反射亚表面测量相结合，可以无损高效检测亚表面缺陷的空间分布信息；本发明通过使用立体分光棱镜建立色散物镜入射光源共轭的出射端口，使得检测光路系统与入射光路系统分离，提高了光谱信息质量；本发明通过多根细光纤并排组成光纤束的方式来代替狭缝，从而使得光谱检测装置无需与镜头一体化，降低了运动平台的负载，提高了空间利用率。
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公开(公告)号：CN116718551A
公开(公告)日：2023-09-08
申请号：CN202310925058.6
申请日：2023-07-26
Applicant: 浙江大学
IPC: G01N21/01 , G01N21/95 , G01N21/88 , G01N21/958 , G01M11/00
Abstract: 本发明公开了一种光学元件表面缺陷测量的装置。本发明包括成像单元、扫描运动单元、轮廓测量单元、自动聚焦单元、样品装夹单元、调平调心单元、主控单元。成像单元由粗测量光路和精测量光路组成；轮廓测量单元拟合生成聚焦地形图；自动聚焦单元调整显微物镜上下微动实现自动聚焦成像；所述的样品装夹单元用于固定被测样品；调心调平单元是集调平调心于一体的自动化装置。本发明利用低倍率暗场散射结合高倍率明暗场成像方式，快速的发现光学元件表面缺陷以及精确测量缺陷尺寸；本发明保证了缺陷识别和分类的效率和精度。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN110779927B
公开(公告)日：2020-10-09
申请号：CN201911097409.9
申请日：2019-11-12
Applicant: 浙江大学
Abstract: 本发明提供一种超声调制配合散射光检测的装置和方法。本发明装置包括超声激发装置、激光散射检测装置、运动平台、样品台、光电二极管、二极管放大器和数字示波器；将超声调制技术与激光散射缺陷检测技术相结合，通过在检测样品表面进行超声调制，引入缺陷特征在运动状态下的动态变化，观测并分析此状态下缺陷的静态光散射效应，通过对散射光强的幅值及相位变化进行分析实现对缺陷的检测。本发明在散射检测中加入超声调制，提供两种缺陷检测结果，并利用扫描方式提供直观的缺陷分布图像。本发明可应用于精密光学元件的缺陷检测，尤其适用于对亚表面缺陷有严格要求的超精密光学元件的成品检测。
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公开(公告)号：CN110779927A
公开(公告)日：2020-02-11
申请号：CN201911097409.9
申请日：2019-11-12
Applicant: 浙江大学
Abstract: 本发明提供一种超声调制配合散射光检测的装置和方法。本发明装置包括超声激发装置、激光散射检测装置、运动平台、样品台、光电二极管、二极管放大器和数字示波器；将超声调制技术与激光散射缺陷检测技术相结合，通过在检测样品表面进行超声调制，引入缺陷特征在运动状态下的动态变化，观测并分析此状态下缺陷的静态光散射效应，通过对散射光强的幅值及相位变化进行分析实现对缺陷的检测。本发明在散射检测中加入超声调制，提供两种缺陷检测结果，并利用扫描方式提供直观的缺陷分布图像。本发明可应用于精密光学元件的缺陷检测，尤其适用于对亚表面缺陷有严格要求的超精密光学元件的成品检测。
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公开(公告)号：CN113589506B
公开(公告)日：2022-07-29
申请号：CN202110896664.0
申请日：2021-08-05
Applicant: 浙江大学
Abstract: 本发明公开了一种基于光谱共焦原理的生物显微视觉预对焦装置及方法。该装置包括光谱共焦传感模块、显微光学模块、玻片夹持装置、聚焦运动装置和扫描运动装置。光谱共焦传感器一次性测量出到盖玻片上/下表面的距离、待观测生物组织层的厚度；通过标定确立显微物镜物方焦点和光谱共焦传感器测量值之间的空间关系，进而实现由光谱共焦传感器测量值直接驱动聚焦运动装置实现生物显微视觉的精确自动对焦。本发明还提供一种基于上述装置及方法的数字切片扫描仪。本发明适用于数字切片扫描仪的聚焦地形图构建，也可用于生物数码显微镜的自动对焦，具有对焦速度快、分层焦点预测准确等特点。
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公开(公告)号：CN113607750A
公开(公告)日：2021-11-05
申请号：CN202110896661.7
申请日：2021-08-05
Applicant: 浙江大学
IPC: G01N21/95 , G01N21/958
Abstract: 本发明公开了一种用于光学元件亚表面缺陷检测的装置及方法。本发明将光谱共焦技术、激光散射技术和激光诱导超声技术结合起来，通过色散镜组将激发激光和检测激光同时聚焦到光学元件的不同深度，激发激光在光学元件亚表面产生瞬态热膨胀效应，检测激光观测并分析亚表面缺陷在热膨胀效应作用下的超声振动，由光谱共焦技术获取亚表面缺陷位置散射光的空间分布信息及散射光谱信息。通过利用上述技术得到缺陷的反射光谱、散射光谱、三维形状、缺陷深度等多维度信息，进行亚表面缺陷的损伤表征。本发明适用于对亚表面缺陷有严苛要求的超精密光学元件的成品无损检测。
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公开(公告)号：CN113589506A
公开(公告)日：2021-11-02
申请号：CN202110896664.0
申请日：2021-08-05
Applicant: 浙江大学
Abstract: 本发明公开了一种基于光谱共焦原理的生物显微视觉预对焦装置及方法。该装置包括光谱共焦传感模块、显微光学模块、玻片夹持装置、聚焦运动装置和扫描运动装置。光谱共焦传感器一次性测量出到盖玻片上/下表面的距离、待观测生物组织层的厚度；通过标定确立显微物镜物方焦点和光谱共焦传感器测量值之间的空间关系，进而实现由光谱共焦传感器测量值直接驱动聚焦运动装置实现生物显微视觉的精确自动对焦。本发明还提供一种基于上述装置及方法的数字切片扫描仪。本发明适用于数字切片扫描仪的聚焦地形图构建，也可用于生物数码显微镜的自动对焦，具有对焦速度快、分层焦点预测准确等特点。
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