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公开(公告)号：CN117280264A
公开(公告)日：2023-12-22
申请号：CN202180097277.9
申请日：2021-12-15
Applicant: 浜松光子学株式会社
IPC: G02B21/06
Abstract: 本发明的试样观察装置(1)具备：光源部(2)，其将中心波长不同的多个脉冲光(L)以规定的时间间隔排列的脉冲列(Lc)作为激发光(Le)输出；测定部(3)，其一边对试样(S)扫描激发光(Le)，一边对与包含于脉冲列(Lc)的各脉冲光(L)的照射对应的、来自试样(S)的响应光(Lr)进行时间分辨测定，取得对各脉冲光(L)的测定数据；以及处理部(22)，其基于包含于试样(S)的每个靶的激发光谱，将线性分离处理实施于对各脉冲光(L)的测定数据。
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公开(公告)号：CN109643029B
公开(公告)日：2022-05-03
申请号：CN201780052952.X
申请日：2017-07-28
Applicant: 浜松光子学株式会社
IPC: G02F1/01
Abstract: 本发明提供数据制作装置、光控制装置、数据制作方法以及数据制作程序。本发明的数据制作装置中，对包括强度谱函数和相位谱函数的频域中的第一波形函数进行傅立叶变换，生成包括时间强度波形函数和时间相位波形函数的时域中的第二波形函数；以使第二波形函数的谱图接近按照所期望的波形和所期望的波长带预先生成的目标谱图的方式修正所述第二波形函数；对修正后的第二波形函数进行傅立叶逆变换，生成频域中的第三波形函数；基于第三波形函数的强度谱函数或相位谱函数生成数据。由此，能够控制构成时间强度波形的光的波长分量(频率分量)。
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公开(公告)号：CN108886567B
公开(公告)日：2020-09-25
申请号：CN201780018766.4
申请日：2017-03-15
Applicant: 浜松光子学株式会社
Abstract: 摄像系统(1A)包括：输出初始脉冲光(Lp)的光源(21)；使初始脉冲光(Lp)的偏光面旋转的偏光控制部(22)；光脉冲整形部(10A)，输入使偏光面旋转后的初始脉冲光(Lp)，使具有第1偏光方向的第1脉冲光(Lp1)和具有与第1偏光方向不同的第2偏光方向的第2脉冲光(Lp2)彼此具有时间差而输出；将脉冲光(Lp1)、脉冲光(Lp2)照射到摄像对象物(B)的照射光学系统(23)；基于偏光方向将在摄像对象物(B)反射或透过后的脉冲光(Lp1)、脉冲光(Lp2)分离的光分离元件(24)；对分离后的脉冲光(Lp1)进行摄像的摄像部(25)；和对分离后的脉冲光(Lp2)进行摄像的摄像部(26)。由此，实现了摄像速度能够进一步高速化的摄像系统和摄像方法。
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公开(公告)号：CN108886567A
公开(公告)日：2018-11-23
申请号：CN201780018766.4
申请日：2017-03-15
Applicant: 浜松光子学株式会社
Abstract: 摄像系统(1A)包括：输出初始脉冲光(Lp)的光源(21)；使初始脉冲光(Lp)的偏光面旋转的偏光控制部(22)；光脉冲整形部(10A)，输入使偏光面旋转后的初始脉冲光(Lp)，使具有第1偏光方向的第1脉冲光(Lp1)和具有与第1偏光方向不同的第2偏光方向的第2脉冲光(Lp2)彼此具有时间差而输出；将脉冲光(Lp1)、脉冲光(Lp2)照射到摄像对象物(B)的照射光学系统(23)；基于偏光方向将在摄像对象物(B)反射或透过后的脉冲光(Lp1)、脉冲光(Lp2)分离的光分离元件(24)；对分离后的脉冲光(Lp1)进行摄像的摄像部(25)；和对分离后的脉冲光(Lp2)进行摄像的摄像部(26)。由此，实现了摄像速度能够进一步高速化的摄像系统和摄像方法。
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公开(公告)号：CN104246574B
公开(公告)日：2017-03-22
申请号：CN201380020852.0
申请日：2013-04-18
Applicant: 浜松光子学株式会社
IPC: G02B15/00
CPC classification number: G02B17/0896 , G02B3/0081 , G02B5/32 , G02B15/00 , G02B21/002 , G02B27/0025
Abstract: 变焦透镜(10A)具备由SLM或者VFL当中的任一者构成的第一透镜部(12)、光学结合在第一透镜部与焦平面(F)之间并且由SLM或者VFL当中的任一者构成的第二透镜部(14)、以及控制第一、第二透镜部(12,14)的焦点距离的控制部(16)。第一透镜部(12)与第二透镜部(14)的距离以及第二透镜部(14)与焦平面(F)的距离均不变。控制部(16)通过变更第一、第二透镜部(12,14)的焦点距离来使变焦透镜10A的放大倍率发生变化。由此，实现可以简易地构成并且可以缩短变更放大倍率时的所需时间的变焦透镜。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN104238114B
公开(公告)日：2017-01-11
申请号：CN201410406348.0
申请日：2009-08-27
Applicant: 浜松光子学株式会社
CPC classification number: G02B27/0025 , B23K26/00 , B23K26/03 , B23K26/032 , B23K26/06 , B23K26/064 , B23K26/36 , B23K26/364 , B23K26/38 , B23K26/40 , B23K26/53 , B23K26/57 , B23K2101/40 , B23K2103/50 , G02B5/1876 , G02B5/32 , G02B21/0032 , G02B21/02 , G02B21/06 , G02B21/361 , G02B27/0068 , G02F1/01 , G02F2203/18
Abstract: 本发明涉及像差修正方法、使用其的激光加工方法、激光照射方法、像差修正装置和像差修正程序。本发明的一个实施方式所涉及的像差修正方法中，在将激光聚光于具有光透过性的介质中，以使激光的聚光点位于在所述介质内部所产生的像差范围之间的方式，修正激光的像差。若将介质(60)的折射率设为n，将自介质(60)的入射面至透镜(50)的焦点为止的深度设为d，将通过介质(60)而产生的像差设为Δs，则该像差范围为自介质(60)的入射面起n×d以上且n×d+Δs以下。(60)内部的激光照射装置(1)的像差修正方法
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公开(公告)号：CN105264346A
公开(公告)日：2016-01-20
申请号：CN201480031945.8
申请日：2014-05-29
Applicant: 浜松光子学株式会社
CPC classification number: G02B27/0068 , A61B3/1015 , A61B3/12 , G01J1/44 , G01J9/00 , G01M11/00 , G01M11/02 , G02B3/0006 , G02B27/0927 , G02F2203/12 , G02F2203/18
Abstract: 本发明提供一种自适应光学系统的角度偏离检测方法，该自适应光学系统包括：对入射至调制面上的光学像的相位进行空间调制的空间光调制器；和从上述空间光调制器接收调制后的上述光学像的波前传感器，其具有将多个透镜排列成二维状的透镜阵列以及对包含由上述透镜阵列形成的会聚光斑的光强度分布进行检测的光检测元件，该自适应光学系统基于根据上述光强度分布得到的上述光学像的波前形状对显示于上述空间光调制器的相位图案进行控制来补偿波前畸变，该自适应光学系统的角度偏离检测方法在该自适应光学系统中算出上述调制面和上述波前传感器的角度偏离量。
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公开(公告)号：CN102138097B
公开(公告)日：2014-09-17
申请号：CN200980134183.3
申请日：2009-08-27
Applicant: 浜松光子学株式会社
IPC: G02B27/00 , B23K26/064 , B23K26/073
CPC classification number: G02B27/0025 , B23K26/00 , B23K26/03 , B23K26/032 , B23K26/06 , B23K26/064 , B23K26/36 , B23K26/364 , B23K26/38 , B23K26/40 , B23K26/53 , B23K26/57 , B23K2101/40 , B23K2103/50 , G02B5/1876 , G02B5/32 , G02B21/0032 , G02B21/02 , G02B21/06 , G02B21/361 , G02B27/0068 , G02F1/01 , G02F2203/18
Abstract: 本发明涉及像差修正方法、使用其的激光加工方法、激光照射方法、像差修正装置和像差修正程序。本发明的一个实施方式所涉及的像差修正方法中，在将激光聚光于具有光透过性的介质(60)内部的激光照射装置(1)的像差修正方法中，以使激光的聚光点位于在所述介质内部所产生的像差范围之间的方式，修正激光的像差。若将介质(60)的折射率设为n，将自介质(60)的入射面至透镜(50)的焦点为止的深度设为d，将通过介质(60)而产生的像差设为Δs，则该像差范围为自介质(60)的入射面起n×d以上且n×d+Δs以下。
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公开(公告)号：CN103706950A
公开(公告)日：2014-04-09
申请号：CN201410002145.5
申请日：2008-07-28
Applicant: 浜松光子学株式会社
IPC: B23K26/359 , B23K26/064
CPC classification number: H01L21/78 , B23K26/0006 , B23K26/046 , B23K26/0624 , B23K26/064 , B23K26/0861 , B23K26/128 , B23K26/40 , B23K26/402 , B23K26/53 , B23K2103/50 , B23K2103/56 , B28D1/221 , B28D5/00 , C03B33/0222 , H01L23/544 , H01L2223/54453 , Y10T29/49826
Abstract: 本发明涉及激光加工方法、激光加工装置及其制造方法。以使被聚光于加工对象物（1）的内部的激光（L）的像差为规定的像差以下的方式被反射型空间光调制器（203）调制后的激光（L）被照射于加工对象物（1）。因此，能够极力减小在对准激光（L）的聚光点（P）的位置所产生的激光（L）的像差，并能够提高在该位置的激光（L）的能量密度，从而能够形成作为切断的起点的功能较好的改质区域（7）。并且，由于使用反射型空间光调制器（203），因此，相比于透过型空间光调制器，能够提高激光（L）的利用效率。这样的激光（L）的利用效率的提高在将作为切断的起点的改质区域（7）形成于板状的加工对象物（1）的情况下是特别重要的。
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公开(公告)号：CN101772398B
公开(公告)日：2014-02-12
申请号：CN200880101826.X
申请日：2008-07-28
Applicant: 浜松光子学株式会社
CPC classification number: H01L21/78 , B23K26/0006 , B23K26/046 , B23K26/0624 , B23K26/064 , B23K26/0861 , B23K26/128 , B23K26/40 , B23K26/402 , B23K26/53 , B23K2103/50 , B23K2103/56 , B28D1/221 , B28D5/00 , C03B33/0222 , H01L23/544 , H01L2223/54453 , Y10T29/49826
Abstract: 本发明涉及激光加工方法、激光加工装置及其制造方法。以使被聚光于加工对象物(1)的内部的激光(L)的像差为规定的像差以下的方式被反射型空间光调制器(203)调制后的激光(L)被照射于加工对象物(1)。因此，能够极力减小在对准激光(L)的聚光点(P)的位置所产生的激光(L)的像差，并能够提高在该位置的激光(L)的能量密度，从而能够形成作为切断的起点的功能较好的改质区域(7)。并且，由于使用反射型空间光调制器(203)，因此，相比于透过型空间光调制器，能够提高激光(L)的利用效率。这样的激光(L)的利用效率的提高在将作为切断的起点的改质区域(7)形成于板状的加工对象物(1)的情况下是特别重要的。
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