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公开(公告)号：CN108140565B
公开(公告)日：2022-08-05
申请号：CN201680058496.5
申请日：2016-09-01
Applicant: 浜松光子学株式会社
IPC: H01L21/288 , C23C18/16 , C23C18/18 , H01L21/3205 , H01L21/768 , H01L23/12 , H01L23/14 , H01L23/522
Abstract: 本发明的配线构造体的制造方法为设置有配线图案的配线构造体的制造方法，包含：第1步骤，至少沿着配线图案的形成预定区域而硅基板的表面形成绝缘层；第2步骤，沿着形成预定区域在绝缘层上形成硼层；及第3步骤，通过镀覆而在硼层上形成金属层。
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公开(公告)号：CN108475684B
公开(公告)日：2022-09-23
申请号：CN201680078756.5
申请日：2016-12-28
Applicant: 浜松光子学株式会社
IPC: H01L27/14 , H01L27/144 , H04N5/369
Abstract: 本发明的背面入射型固体摄像元件中，在摄像区域内有第一电荷输送电极组(垂直移位寄存器)，在摄像区域的周边区域内有第二电荷输送电极组(水平移位寄存器)。与周边区域对应的半导体基板(4)的光入射面被蚀刻，在蚀刻后的区域内填充有无机的遮光物质(SH)。无机的遮光物质在真空环境下蒸发而气化的量极少，气化的气体对摄像的影响较少。
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公开(公告)号：CN101542734B
公开(公告)日：2011-07-06
申请号：CN200780044387.9
申请日：2007-11-28
Applicant: 浜松光子学株式会社
IPC: H01L27/146 , H04N5/335
CPC classification number: H01L27/14887 , H01L27/14601 , H01L27/14656 , H04N5/335 , H04N5/3591
Abstract: 固体摄像元件(1)，具备：按规定的方向进行排列并且在与规定的方向交叉的方向上朝着一边电位被升高的多个光电变换部(2)、在与规定的方向交叉的方向上被配设于光电变换部(2)的一侧并将由光电变换部(2)所产生的电荷向规定的方向进行传送的传送部(6)、以沿着与规定的方向交叉的方向并与光电变换部(2)邻接的方式进行配设并从光电变换部(2)将由光电变换部(2)所产生的不要电荷进行排出的不要电荷排出漏极部(7)、被配设于光电变换部(2)和不要电荷排出漏极部(7)之间并有选择性地实行从光电变换部(2)向不要电荷排出漏极部(7)的不要电荷的流动的切断以及开放的不要电荷排出栅极部(8)。
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公开(公告)号：CN101981698A
公开(公告)日：2011-02-23
申请号：CN200980111025.6
申请日：2009-03-24
Applicant: 浜松光子学株式会社
IPC: H01L27/148 , H04N5/335
CPC classification number: H04N5/3692 , G01J3/2803 , H01L27/14825 , H04N5/3535
Abstract: 固体摄像装置(1)具备多个光电转换部(3)、多个第1传输部(5)、多个电荷存储部(7)、多个第2传输部(9)以及移位寄存器(11)。各光电转换部(3)具有：平面形状为由两条长边和两条短边形成的大致矩形的光感应区域(13)、和形成沿着从形成光感应区域(13)的平面形状的一个短边侧朝向另一个短边侧的第1方向变高的电位梯度的电位梯度形成区域(15)。各第1传输部(5)配置于形成对应的光感应区域(13)的平面形状的另一个短边侧，将从对应的光感应区域(13)取得的电荷在第1方向上传输。各电荷存储部(7)存储从对应的第1传输部(5)传输的电荷。由此，实现了图像处理不烦杂并且可以高速地读出光感应区域中产生的电荷的固体摄像装置。
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公开(公告)号：CN108475684A
公开(公告)日：2018-08-31
申请号：CN201680078756.5
申请日：2016-12-28
Applicant: 浜松光子学株式会社
IPC: H01L27/14 , H01L27/144 , H04N5/369
CPC classification number: H01L27/14 , H01L27/144 , H04N5/369
Abstract: 本发明的背面入射型固体摄像元件中，在摄像区域内有第一电荷输送电极组(垂直移位寄存器)，在摄像区域的周边区域内有第二电荷输送电极组(水平移位寄存器)。与周边区域对应的半导体基板(4)的光入射面被蚀刻，在蚀刻后的区域内填充有无机的遮光物质(SH)。无机的遮光物质在真空环境下蒸发而气化的量极少，气化的气体对摄像的影响较少。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN105103538B
公开(公告)日：2018-08-31
申请号：CN201480015834.8
申请日：2014-02-18
Applicant: 浜松光子学株式会社
IPC: H04N5/372 , H01L27/148 , H04N5/341
CPC classification number: H04N5/372 , H01L27/14812 , H04N5/37213 , H04N5/3725 , H04N5/378
Abstract: 固体摄像装置(1)包含光电转换部(11、12)、传送部(21、22)、第一缓冲部(31、32)、第二缓冲部(51、52)、第一输出部(40)及第二输出部(60)。光电转换部(11、12)对应于光入射而产生电荷。传送部(21、22)将所产生的电荷对应于3相或4相的驱动信号向第一方向或其相反的第二方向传送。第一缓冲部(31、32)及第二缓冲部(51、52)取得通过传送部(21、22)而分别向第一及第二方向传送的电荷，并对应于2相的驱动信号，将所取得的电荷分别向第一及第二方向传送。第一输出部(40)及第二输出部(60)取得分别自第一缓冲部(31、32)及第二缓冲部(51、52)所传送的电荷，并输出与所取得的电荷相应的信号。
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公开(公告)号：CN105103538A
公开(公告)日：2015-11-25
申请号：CN201480015834.8
申请日：2014-02-18
Applicant: 浜松光子学株式会社
IPC: H04N5/372 , H01L27/148 , H04N5/341
CPC classification number: H04N5/372 , H01L27/14812 , H04N5/37213 , H04N5/3725 , H04N5/378
Abstract: 固体摄像装置(1)包含光电转换部(11、12)、传送部(21、22)、第一缓冲部(31、32)、第二缓冲部(51、52)、第一输出部(40)及第二输出部(60)。光电转换部(11、12)对应于光入射而产生电荷。传送部(21、22)将所产生的电荷对应于3相或4相的驱动信号向第一方向或其相反的第二方向传送。第一缓冲部(31、32)及第二缓冲部(51、52)取得通过传送部(21、22)而分别向第一及第二方向传送的电荷，并对应于2相的驱动信号，将所取得的电荷分别向第一及第二方向传送。第一输出部(40)及第二输出部(60)取得分别自第一缓冲部(31、32)及第二缓冲部(51、52)所传送的电荷，并输出与所取得的电荷相应的信号。
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公开(公告)号：CN108140618B
公开(公告)日：2021-03-19
申请号：CN201680058495.0
申请日：2016-09-01
Applicant: 浜松光子学株式会社
IPC: H01L23/14 , H01L21/288 , H01L21/3205 , H01L21/768 , H01L23/12 , H01L23/32 , H01L23/522 , H05K1/11 , H05K3/40
Abstract: 本发明的配线构造体为设置有包含贯通配线图案的配线图案的配线构造体，具备：硅基板，具有配置有贯通配线图案的贯通孔；绝缘层，至少沿着配线图案，设置于包含贯通孔的内表面的硅基板的表面；硼层，沿着配线图案设置于绝缘层上；及金属层，设置于硼层上。
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公开(公告)号：CN101981698B
公开(公告)日：2014-11-26
申请号：CN200980111025.6
申请日：2009-03-24
Applicant: 浜松光子学株式会社
CPC classification number: H04N5/3692 , G01J3/2803 , H01L27/14825 , H04N5/3535
Abstract: 固体摄像装置(1)具备多个光电转换部(3)、多个第1传输部(5)、多个电荷存储部(7)、多个第2传输部(9)以及移位寄存器(11)。各光电转换部(3)具有：平面形状为由两条长边和两条短边形成的大致矩形的光感应区域(13)、和形成沿着从形成光感应区域(13)的平面形状的一个短边侧朝向另一个短边侧的第1方向变高的电位梯度的电位梯度形成区域(15)。各第1传输部(5)配置于形成对应的光感应区域(13)的平面形状的另一个短边侧，将从对应的光感应区域(13)取得的电荷在第1方向上传输。各电荷存储部(7)存储从对应的第1传输部(5)传输的电荷。由此，实现了图像处理不烦杂并且可以高速地读出光感应区域中产生的电荷的固体摄像装置。
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公开(公告)号：CN101542734A
公开(公告)日：2009-09-23
申请号：CN200780044387.9
申请日：2007-11-28
Applicant: 浜松光子学株式会社
IPC: H01L27/148 , H04N5/335
CPC classification number: H01L27/14887 , H01L27/14601 , H01L27/14656 , H04N5/335 , H04N5/3591
Abstract: 固体摄像元件(1)，具备：按规定的方向进行排列并且在与规定的方向交叉的方向上朝着一边电位被升高的多个光电变换部(2)、在与规定的方向交叉的方向上被配设于光电变换部(2)的一侧并将由光电变换部(2)所产生的电荷向规定的方向进行传送的传送部(6)、以沿着与规定的方向交叉的方向并与光电变换部(2)邻接的方式进行配设并从光电变换部(2)将由光电变换部(2)所产生的不要电荷进行排出的不要电荷排出漏极部(7)、被配设于光电变换部(2)和不要电荷排出漏极部(7)之间并有选择性地实行从光电变换部(2)向不要电荷排出漏极部(7)的不要电荷的流动的切断以及开放的不要电荷排出栅极部(8)。
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