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公开(公告)号:CN118483806A
公开(公告)日:2024-08-13
申请号:CN202410659682.0
申请日:2024-05-24
Applicant: 深圳综合粒子设施研究院
Abstract: 本申请提供了一种X射线反射镜重力变形影响消除方法。该方法包括:组合X射线的反射结构,所述反射结构包括多个反射镜;对所述多个反射镜的夹持位置/方式进行调节,调整所述多个反射镜各自的夹持支撑跨距,建立所述多个反射镜之间的曲率对应关系以满足重力作用下光学像点位置保持不变,使所述多个反射镜的重力变形的影响相互抵消。在本申请中,基于多面镜子的反射系统几何光学关系,结合夹持支撑跨距调节建立镜子间面形曲率对应关系,使得在引入重力形变作用下,整个系统理论光学像点位置保持不变,即最终实现使多个反射镜的重力变形的影响相互抵消。
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公开(公告)号:CN118213834A
公开(公告)日:2024-06-18
申请号:CN202410261251.9
申请日:2024-03-06
Applicant: 深圳综合粒子设施研究院
Abstract: 本申请提供了一种X射线次级光源狭缝装置,包括壳体、第一狭缝、第二狭缝、第一狭缝组件和第二狭缝组件。壳体具有光束入射口和光束出射口。第一狭缝组件形成第一狭缝,第一狭缝组件包括第一偏转机构、第一缝宽调节机构以及第一狭缝刀口,第一偏转机构连接于壳体上,带动第一缝宽调节机构以及第一狭缝刀口绕偏转轴转动。第一缝宽调节机构成对设置在第一偏转机构上,且分别布置于第一狭缝的两侧,第一狭缝刀口连接于各第一缝宽调节机构上,对超出次级光源尺寸要求外的光束进行遮挡。第二狭缝组件与第一狭缝组件基本类似,当第一狭缝沿水平方向设置时,第二狭缝沿竖直方向设置,第二缝宽调节机构用于调节光束在水平方向上的宽度尺寸。
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公开(公告)号:CN116930225A
公开(公告)日:2023-10-24
申请号:CN202310922153.0
申请日:2023-07-25
Applicant: 深圳综合粒子设施研究院
IPC: G01N23/20025
Abstract: 本发明提供了一种同步辐射光源XRD‑PDF联用探测器台架结构,涉及探测器台架技术领域,通过将两个移动装置安装在支架主体上,两个移动装置可分别安装探测器,探测器运动具有X、Y、Z三个自由度,并可垂直于光路方向旋转。可独立调节两个探测器的工作距离和旋转角,实现XRD或PDF技术的单独使用,分别获得高质量的布拉格衍射数据或PDF数据。并可通过两个探测器工作距离优化,实现XRD和PDF技术联用,同时获取样品的布拉格衍射数据和PDF数据。本探测器台架结构节省空间,可大大缩减样品到探测器的距离,解决现有技术中存在的测量台面尺寸过大,空间占用较大的技术问题。
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公开(公告)号:CN116906438A
公开(公告)日:2023-10-20
申请号:CN202310664590.7
申请日:2023-06-06
Applicant: 深圳综合粒子设施研究院
Abstract: 本申请提供了一种柔性铰链结构及精密微调机构,精密微调机构包括安装平台、底座及至少两个连接于安装平台与底座之间的柔性铰链结构;柔性铰链结构包括支撑主体及对称设于支撑主体两端的两个铰链组;铰链组包括多个圆弧铰链单元,各圆弧铰链单元的一端沿支撑主体的宽度方向依次间隔设置并分别与支撑主体一体连接,另一端汇聚相接;圆弧铰链单元的厚度自中间向两端逐渐增大,且沿其厚度方向具有两个背对对称设置的圆弧面,圆弧面的圆心角小于30度。本申请中,圆弧铰链单元的厚度变化幅度小,不会出现应力集中,使得该柔性铰链结构能够适应更大的角度转动范围。且多个圆弧铰链单元的设置,使得该机构具有较高的刚性,能够实现更高的精度和稳定性。
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公开(公告)号:CN116449527A
公开(公告)日:2023-07-18
申请号:CN202310360130.5
申请日:2023-03-29
Applicant: 深圳综合粒子设施研究院
Abstract: 本申请提供了一种X射线准直镜热变形控制装置及方法,包括反射镜;冷却基座,冷却基座上分别开设有冷却介质通道和导热调节槽;冷却介质,设于反射镜与冷却基座之间;固定组件,与冷却基座相连接。通过冷却基座经由冷却介质来降低接触热阻,可实现反射镜与冷却介质之间的高效间接热交换;通过在冷却基座上分别开设冷却介质通道和导热调节槽,且将冷却介质、导热调节槽和冷却介质通道在沿反射镜朝冷却基座的热传递方向上依次设置。在反射镜通过冷却基座与冷却介质之间进行热交换的过程中,导热调节槽可调节换热路径上的热阻分布,调控反射镜表面的温度分布,从而实现对反射镜表面的热变形精确控制,有效提升反射镜在高热负载下的面形精度。
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公开(公告)号:CN118732203A
公开(公告)日:2024-10-01
申请号:CN202411027464.1
申请日:2024-07-29
Applicant: 深圳综合粒子设施研究院
IPC: G02B7/00
Abstract: 本发明提供了一种光学镜箱及光学控制系统,涉及光学器件技术领域,该光学镜箱通过在冷却装置中额外设置的第二姿态调节装置实现了与光学元件的解耦,同时将光学元件对应的第一姿态调节装置设置在光学镜箱的真空腔外部,有效缓解冷却装置通过真空腔传递的振动对光学元件造成的影响。
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公开(公告)号:CN118629688A
公开(公告)日:2024-09-10
申请号:CN202410566956.1
申请日:2024-05-09
Applicant: 深圳综合粒子设施研究院
IPC: G21K1/06
Abstract: 本发明适用于光学元件面形控制技术领域,提供了一种X射线反射镜及热面形控制方法。上述X射线反射镜包括反射镜本体、冷却单元以及面形矫正件。由于面形矫正件与反射镜本体热膨胀系数不同,在相同温度升/降下两者的膨胀/收缩程度也会存在差异。由于面形矫正件与反射镜本体之间界面结合作用,面形矫正件会对反射镜本体施加一定的热应力。此时通过面形矫正件自身尺寸优化、对面形矫正件与反射镜本体之间几何关系以及位置进行调整,将该热应力转化为对于反射镜本体的补偿弯矩。通过冷却水温度调整可以有效改变补偿弯矩幅度,以抵消反射镜本体受光面在被照射后产生的热变形。
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公开(公告)号:CN118582504A
公开(公告)日:2024-09-03
申请号:CN202410561901.1
申请日:2024-05-08
Applicant: 深圳综合粒子设施研究院
IPC: F16F15/067 , F16M11/04 , G21K1/06
Abstract: 本发明公开了一种光学元件冷却结构的减振支撑装置,减振支撑装置至少设置有一个减振支撑机构,减振支撑机构包括弹簧支架结构和平面柔性铰链结构;弹簧支架结构包括支架底板和弹簧组件,支架底板的第一表面与冷却结构固定连接,弹簧组件穿过支架底板的第二表面后与平面柔性铰链结构的第一表面固定连接,弹簧组件用于吸收第一方向的振动和/或俯仰角方向的角度振动;平面柔性铰链结构用于吸收第二方向的振动、第三方向的振动、滚动角方向的角度振动和/或方位角方向的角度振动。通过弹簧支架结构和平面柔性铰链结构实现冷却结构的六自由度减振调节,提高反射镜的稳定性,从而提高光束输出性能,可广泛应用于光学设备技术领域。
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公开(公告)号:CN118330874A
公开(公告)日:2024-07-12
申请号:CN202410581812.3
申请日:2024-05-11
Applicant: 深圳综合粒子设施研究院
Abstract: 本发明公开了一种多维运动平台及反射镜装置,涉及机械设计与制造技术领域。其中,多维运动平台包括基座、第一竖直滑台机构、第二竖直滑台机构、铰链机构组以及水平运动机构,铰链机构组与第一竖直滑台机构和第二竖直滑台机构连接,第一竖直滑台机构和第二竖直滑台机构在同步运动时带动被载物品沿竖直方向运动,在进行异步运动时带动铰链机构组转动,以带动被载物品绕水平轴转动;水平运动机构设于铰链机构组上,用于带动被载物品在水平面内移动和/或绕竖直轴转动。本发明提供的技术方案可实现多自由度运动调节,每一自由度的调节可独立控制,避免了相互影响,调节灵活且安全高效。
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公开(公告)号:CN118330840A
公开(公告)日:2024-07-12
申请号:CN202410574315.0
申请日:2024-05-10
Applicant: 深圳综合粒子设施研究院
Abstract: 本申请公开了一种动态压弯调节装置及光学仪器,涉及光学设备领域。动态压弯调节装置包括基座、架体、驱动件、连接件、摇臂支撑件和柔性铰链结构。两个架体间隔设在基座上,架体内设有容纳腔;两个驱动件间隔设置;每个连接件能够与一个驱动件的输出端抵接,每个摇臂支撑件对应的设置于容纳腔内,每个摇臂支撑件均设置有用于安装反射镜端部的固定位,每个摇臂支撑件分别与一个连接件远离驱动件的一端固定连接;柔性铰链结构分别设于每个架体的第三开口处并与架体固定连接,柔性铰链结构的活动端分别与摇臂支撑件连接。本申请提供的动态压弯调节装置,避免了轴承的圆跳动和间隙导致的反射镜压弯精度的问题,更好的减小了压弯误差。
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