一种基于氧化锌薄膜的可见光吸收型氢气传感器件

    公开(公告)号:CN114371197B

    公开(公告)日:2024-07-23

    申请号:CN202111361370.4

    申请日:2021-11-17

    Applicant: 湖北大学

    Abstract: 本发明设计一种基于氧化锌薄膜的可见光吸收型氢气传感器件,是利用基于超材料(Meta‑materials)的完美吸收体器件,通过电子束曝光(EBL)和物理气相沉积等工艺沉积Pd、Pt等对氢气具有特异性吸附的贵金属材料作为氢敏光栅,可根据吸收体对指定波长入射光吸收特性在含氢气氛中的变化实现氢气浓度检测。包括:制备衬底、制备金属基底层和超材料介质层、旋涂光刻胶、画光栅结构图形、生成光刻图案样品、制备样品等步骤。所制备的光学型氢气传感器件可实现对特定入射光的高效吸收,实现了在可见光频段内对氢气浓度的检测,能够在不同温下直接进行检测,受环境因素的影响较小。体积小、工艺简单,成本低廉,易于集成和大规模化生产,制作过程无污染。

    一种基于氧化锌薄膜的可见光吸收型氢气传感器件

    公开(公告)号:CN114371197A

    公开(公告)日:2022-04-19

    申请号:CN202111361370.4

    申请日:2021-11-17

    Applicant: 湖北大学

    Abstract: 本发明设计一种基于氧化锌薄膜的可见光吸收型氢气传感器件,是利用基于超材料(Meta‑materials)的完美吸收体器件,通过电子束曝光(EBL)和物理气相沉积等工艺沉积Pd、Pt等对氢气具有特异性吸附的贵金属材料作为氢敏光栅,可根据吸收体对指定波长入射光吸收特性在含氢气氛中的变化实现氢气浓度检测。包括:制备衬底、制备金属基底层和超材料介质层、旋涂光刻胶、画光栅结构图形、生成光刻图案样品、制备样品等步骤。所制备的光学型氢气传感器件可实现对特定入射光的高效吸收,实现了在可见光频段内对氢气浓度的检测,能够在不同温下直接进行检测,受环境因素的影响较小。体积小、工艺简单,成本低廉,易于集成和大规模化生产,制作过程无污染。

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