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公开(公告)号：CN107941339A
公开(公告)日：2018-04-20
申请号：CN201711375593.X
申请日：2017-12-19
Applicant: 湖南宏动光电有限公司
Inventor： 唐文江
CPC classification number: G01J3/2823 , G01J3/0205 , G01J3/0294 , G01J2003/2826
Abstract: 一种基于周期性干涉膜系FP腔扫描的高光谱成像装置及方法，包括带通滤光片、衬底、上层周期性干涉膜系、FP腔、下层周期性干涉膜系、成像探测器、压电陶瓷芯片和用于封装的外壳；所述上层周期性干涉膜系制备在衬底上，所述下层周期性干涉膜系制备在成像探测器像元表面，衬底上有膜的一面和成像探测器上有膜的一面相对，与外壳相连构成一个封闭的空腔，即FP腔；成像探测器无膜的另一面与压电陶瓷芯片连接，或者衬底无膜的另一面与压电陶瓷芯片连接，或者衬底无膜的另一面与中间通孔的压电陶瓷芯片连接。本发明通过压电陶瓷芯片驱动，扫描FP腔腔长来实现高光谱成像，便于集成，制造成本较低，不会随着空间及光谱分辨率提高而提高，实用价值高。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN108196333B
公开(公告)日：2020-07-03
申请号：CN201711376588.0
申请日：2017-12-19
Applicant: 湖南宏动光电有限公司
Inventor： 唐文江
Abstract: 一种多通道窄带滤波像素阵列的制备方法，包括以下步骤：一、在衬底上制作套刻标记和金属遮光栅格；二、在衬底表面制作一层金属铝导电薄膜作为电镀的起始衬底；三、通过紫外光刻形成光刻胶掩膜；四、将制作了光刻胶图形的基片放入电镀液池中电镀；五、去除光刻胶掩膜并腐蚀衬底表面的金属铝导电薄膜，形成铝掩膜；六、采用离子溅射镀膜的方法，制备特定光学特征的F‑P型周期性干涉膜系；七、腐蚀铝掩膜，形成第一个通道的窄带滤波像素阵列；八、重复步骤二到七，依次完成第二、第三和第四通道的像素阵列的制备；九，将多通道微滤光片与CCD探测器键合封装。本发明在保持光学薄膜特性的同时，实现大厚度光学薄膜的图形化，制造工艺简单可靠，有利于推广普及，具有较高的实用价值。
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公开(公告)号：CN108196333A
公开(公告)日：2018-06-22
申请号：CN201711376588.0
申请日：2017-12-19
Applicant: 湖南宏动光电有限公司
Inventor： 唐文江
Abstract: 一种多通道窄带滤波像素阵列的制备方法，包括以下步骤：一、在衬底上制作套刻标记和金属遮光栅格；二、在衬底表面制作一层金属铝导电薄膜作为电镀的起始衬底；三、通过紫外光刻形成光刻胶掩膜；四、将制作了光刻胶图形的基片放入电镀液池中电镀；五、去除光刻胶掩膜并腐蚀衬底表面的金属铝导电薄膜，形成铝掩膜；六、采用离子溅射镀膜的方法，制备特定光学特征的F-P型周期性干涉膜系；七、腐蚀铝掩膜，形成第一个通道的窄带滤波像素阵列；八、重复步骤二到七，依次完成第二、第三和第四通道的像素阵列的制备；九，将多通道微滤光片与CCD探测器键合封装。本发明在保持光学薄膜特性的同时，实现大厚度光学薄膜的图形化，制造工艺简单可靠，有利于推广普及，具有较高的实用价值。
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公开(公告)号：CN108007568A
公开(公告)日：2018-05-08
申请号：CN201711376599.9
申请日：2017-12-19
Applicant: 湖南宏动光电有限公司
Inventor： 唐文江
CPC classification number: G01J3/0229 , G01J3/2823
Abstract: 一种光谱成像型微滤光片，包括周期性微滤光单元和衬底，周期性微滤光单元制备在衬底上，所述衬底为根据目标光谱特性进行选择的石英、硅片或者柔性材料衬底，所述周期性微滤光单元与CCD探测器成像单元相匹配，周期性微滤光单元的大小根据CCD探测器的像元尺寸确定，所述周期性微滤光单元为具有特定工作波长、带宽、透过率和抑止率的F-P型周期性干涉滤光多层介质，为单通道窄带滤波或多通道窄带滤波的单元，带宽小于5nm，衬底上制备两个、具有三个或者四个不同工作波长的周期性微滤光单元，形成多通道微滤光片。本发明集成度高、质量轻、可靠性好，具有较高的实用价值。
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公开(公告)号：CN207717226U
公开(公告)日：2018-08-10
申请号：CN201721786591.5
申请日：2017-12-19
Applicant: 湖南宏动光电有限公司
Inventor： 唐文江
Abstract: 一种基于周期性干涉膜系FP腔扫描的高光谱成像装置，包括带通滤光片、衬底、上层周期性干涉膜系、FP腔、下层周期性干涉膜系、成像探测器、压电陶瓷芯片和用于封装的外壳；所述上层周期性干涉膜系制备在衬底上，所述下层周期性干涉膜系制备在成像探测器像元表面，衬底上有膜的一面和成像探测器上有膜的一面相对，与外壳相连构成一个封闭的空腔，即FP腔；成像探测器无膜的另一面与压电陶瓷芯片连接，或者衬底无膜的另一面与压电陶瓷芯片连接，或者衬底无膜的另一面与中间通孔的压电陶瓷芯片连接。本实用新型通过压电陶瓷芯片驱动，扫描FP腔腔长来实现高光谱成像，便于集成，制造成本较低，不会随着空间及光谱分辨率提高而提高，实用价值高。(ESM)同样的发明创造已同日申请发明专利
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公开(公告)号：CN208140255U
公开(公告)日：2018-11-23
申请号：CN201721803328.2
申请日：2017-12-19
Applicant: 湖南宏动光电有限公司
Inventor： 唐文江
Abstract: 一种光谱成像型微滤光片，包括周期性微滤光单元和衬底，周期性微滤光单元制备在衬底上，所述衬底为根据目标光谱特性进行选择的石英、硅片或者柔性材料衬底，所述周期性微滤光单元与CCD探测器成像单元相匹配，周期性微滤光单元的大小根据CCD探测器的像元尺寸确定，所述周期性微滤光单元为具有特定工作波长、带宽、透过率和抑止率的F‑P型周期性干涉滤光多层介质，为单通道窄带滤波或多通道窄带滤波的单元，带宽小于5nm，衬底上制备两个、具有三个或者四个不同工作波长的周期性微滤光单元，形成多通道微滤光片。本实用新型集成度高、质量轻、可靠性好，具有较高的实用价值。
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