公开(公告)号：CN102272612A

公开(公告)日：2011-12-07

申请号：CN201080004196.1

申请日：2010-01-06

Applicant: 爱德万测试株式会社

Inventor： 佐藤周作

IPC: G01R31/28 ,  H01L21/66

CPC classification number: G01R31/2889 ,  G01R1/06777

Abstract: 提供一种测试装置，是测试被测试器件的测试装置，包括：测试头，与被测试器件相向配置，设置有用于测试被测试器件的模块；探针组件，配置在测试头及被测试器件之间，进行信号传送。在探针组件中，设置有互相以规定的间隔配置的多个低电压引脚；和多个高电压引脚，其与多个低电压引脚的各个低电压引脚的距离比规定的间隔还大，传送比低电压引脚还高的电压的信号；在多个高电压引脚中的各个高电压引脚，只被配置在将探针组件的表面平分为2个区域的任意一方。

公开(公告)号：CN102272612B

公开(公告)日：2013-07-24

申请号：CN201080004196.1

申请日：2010-01-06

Applicant: 爱德万测试株式会社

Inventor： 佐藤周作

IPC: G01R31/28 ,  H01L21/66

CPC classification number: G01R31/2889 ,  G01R1/06777

Abstract: 本发明提供一种测试装置，是测试被测试器件的测试装置，包括：测试头，与被测试器件相向配置，设置有用于测试被测试器件的模块；探针组件，配置在测试头及被测试器件之间，进行信号传送。在探针组件中，设置有互相以规定的间隔配置的多个低电压引脚；和多个高电压引脚，其与多个低电压引脚的各个低电压引脚的距离比规定的间隔还大，传送比低电压引脚还高的电压的信号；在多个高电压引脚中的各个高电压引脚，只被配置在将探针组件的表面平分为2个区域的任意一方。