公开(公告)号：CN101147075A

公开(公告)日：2008-03-19

申请号：CN200680009166.3

申请日：2006-03-14

Applicant: 爱德万测试株式会社

Inventor： 熊木德雄

IPC: G01R31/28

CPC classification number: G01R31/31907 ,  G06F11/26

Abstract: 以减少测试控制所必需的中央处理装置的数目，降低半导体测试装置的故障率为目的，提供一种测试装置，其具有进行多个被测器件的测试的多个测试模块和根据被指定的工作模式，控制多个测试模块的测试动作的中央处理装置；在该测试装置中，中央处理装置，在指定的工作模式是通过多个测试模块同时并行进行同一测试的并行测试模式时，通过执行预先确定的一个测试用过程，来控制多个测试模块的每个中的测试动作，另一方面，在指定的工作模式是通过每个测试模块以独立执行相互不同的测试的独立测试模式时，通过每个测试模块边转换边执行多个该测试用过程以并行控制所述多个测试模块。

公开(公告)号：CN1781029A

公开(公告)日：2006-05-31

申请号：CN200480011478.9

申请日：2004-03-12

Applicant: 爱德万测试株式会社

Inventor： 熊木德雄

IPC: G01R31/3183

CPC classification number: G01R31/31928 ,  G01R31/31921

Abstract: 本发明是有关于一种测试装置、测试装置的程式、测试图案记录媒体以及测试装置的控制方法。该测试装置用以测试被测试元件，其中使用于被测试元件的测试的测试图案档案是包括多数个分割图案记录区域，以记录多数个分割图案，该些分割图案是分割用来测试该被测试元件的测试图案。前述测试装置具备多数个变换处理部，彼此并行地变换在互相不同的该些分割图案记录区域所记录的该些分割图案；以及测试图案产生器，用以供应被该些变换处理部所变换的该测试图案给被测试元件。