氢传感器
    1.
    发明授权

    公开(公告)号:CN101680863B

    公开(公告)日:2012-07-04

    申请号:CN200880018905.4

    申请日:2008-05-28

    CPC classification number: G01N33/005 G01N31/22

    Abstract: 本发明提供一种氢传感器。在氢传感器(10a、10b、10c、10d)中,薄膜层(12)形成在基板(11)上,缓冲层(13)层积在薄膜层(12)上。并且,一旦与氢气接触就使薄膜层(12)氢化并使薄膜层(12)的光学反射率变化的催化剂层(14)层积在缓冲层(13)上。从薄膜层(12)向催化剂层(14)扩散的成分与从缓冲层(13)向催化剂层(14)扩散的成分结合,从而防止催化剂层(14)的氧化。其结果是,防止随着薄膜层(12)的反复氢化而产生的催化剂层(14)等的氧化,并抑制氢传感器(10a、10b、10c、10d)的氢检测灵敏度的降低。

    氢传感器和氢气检测装置

    公开(公告)号:CN101542274A

    公开(公告)日:2009-09-23

    申请号:CN200780043427.8

    申请日:2007-07-10

    CPC classification number: G01N21/7703 G01N21/783 G01N2021/7773 Y10T436/22

    Abstract: 本发明涉及一种氢传感器和氢气检测装置。在氢传感器的平板光传送路径表面形成有薄膜层,在薄膜层的表面形成有催化剂层。在平板光传送路径与薄膜层之间形成第一分界面,通过向平板光传送路径的背面接合基板而在平板光传送路径与基板之间形成第二分界面。来自光源的光从射入部一边向平板光传送路径的第一端侧扩散一边射入后,在第一分界面与第二分界面之间被交替反射,并向平板光传送路径的第二端侧传送。然后,使该光从第二端侧射出后由射出聚光部向光传感器传送。这时,当利用与氢接触的催化剂层使薄膜层氢化时,则来自第一分界面的反射光量降低。由光传感器检测该降低了的光量,由此来检测氢气。

    氢传感器和氢气检测装置

    公开(公告)号:CN101542274B

    公开(公告)日:2011-09-14

    申请号:CN200780043427.8

    申请日:2007-07-10

    CPC classification number: G01N21/7703 G01N21/783 G01N2021/7773 Y10T436/22

    Abstract: 本发明涉及一种氢传感器和氢气检测装置。在氢传感器的平板光传送路径表面形成有薄膜层,在薄膜层的表面形成有催化剂层。在平板光传送路径与薄膜层之间形成第一分界面,通过向平板光传送路径的背面接合基板而在平板光传送路径与基板之间形成第二分界面。来自光源的光从射入部一边向平板光传送路径的第一端侧扩散一边射入后,在第一分界面与第二分界面之间被交替反射,并向平板光传送路径的第二端侧传送。然后,使该光从第二端侧射出后由射出聚光部向光传感器传送。这时,当利用与氢接触的催化剂层使薄膜层氢化时,则来自第一分界面的反射光量降低。由光传感器检测该降低了的光量,由此来检测氢气。

    氢传感器
    8.
    发明公开

    公开(公告)号:CN101680863A

    公开(公告)日:2010-03-24

    申请号:CN200880018905.4

    申请日:2008-05-28

    CPC classification number: G01N33/005 G01N31/22

    Abstract: 本发明提供一种氢传感器。在氢传感器(10a、10b、10c、10d)中,薄膜层(12)形成在基板(11)上,缓冲层(13)层积在薄膜层(12)上。并且,一旦与氢气接触就使薄膜层(12)氢化并使薄膜层(12)的光学反射率变化的催化剂层(14)层积在缓冲层(13)上。从薄膜层(12)向催化剂层(14)扩散的成分与从缓冲层(13)向催化剂层(14)扩散的成分结合,从而防止催化剂层(14)的氧化。其结果是,防止随着薄膜层(12)的反复氢化而产生的催化剂层(14)等的氧化,并抑制氢传感器(10a、10b、10c、10d)的氢检测灵敏度的降低。

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