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公开(公告)号:CN1392219A
公开(公告)日:2003-01-22
申请号:CN02105653.6
申请日:2002-03-20
Applicant: 独立行政法人产业技术综合研究所
IPC: C09K5/14
CPC classification number: C04B41/009 , C04B41/52 , C04B41/89 , C04B2111/00844 , C22C1/05 , C22C1/1036 , C22C32/0063 , C22C2001/1021 , H01L23/3731 , H01L2924/0002 , Y10T428/249957 , Y10T428/249969 , Y10T428/24999 , C04B41/4554 , C04B41/5001 , C04B41/4531 , C04B41/5057 , C04B41/4521 , C04B41/4523 , C04B41/5127 , C04B35/565 , C04B38/00 , H01L2924/00
Abstract: 高热导性复合材料,含有占20~75%体积比的SiC和占其余体积比的Cu,和介于该SiC和Cu界面上的防止两者反应的防反应层,上述防反应层是由碳,或选自Cr,Nb,Ta,W中至少一种元素的碳化物形成的厚度为0.01~10微米的薄膜形成的。另外热膨胀系数为4.5~10×10-6/K,热导率为200W/mK以上。