公开(公告)号：CN103502825A

公开(公告)日：2014-01-08

申请号：CN201280020502.X

申请日：2012-04-11

Applicant: 独立行政法人产业技术综合研究所

Inventor： 菊永和也 ,  野中一洋

IPC: G01R29/12

CPC classification number: G01R29/12 ,  G01R29/24

Abstract: 本发明提供一种静电量计量装置以及静电量计量方法，其适合于处于难以进行计量的状况的制造现场，简便并且高精度地计量电子部件、机械部件等的静电量。本发明的静电量计量装置(1)具备：接收部(2)，其接收由于向计量对象物(10)施加的振动而产生的虚拟电磁波；测量部(3)，其测量由接收部(2)接收到的虚拟电磁波的强度、频率以及相位的至少一个；计算部(4)，其根据测量部(3)的测量结果，计算计量对象物(10)的静电量。

公开(公告)号：CN103221831A

公开(公告)日：2013-07-24

申请号：CN201280003745.2

申请日：2012-01-25

Applicant: 独立行政法人产业技术综合研究所

Inventor： 菊永和也 ,  野中一洋

IPC: G01R29/24 ,  G01R29/08 ,  G01R29/12

CPC classification number: G01R29/12 ,  G01R29/14 ,  G01R29/24 ,  H01L22/14 ,  H01L2924/0002 ,  H01L2924/00

Abstract: 本发明提供一种静电带电测量方法和装置，其同时满足以下的三个条件，即(1)非破坏性地测量静电带电，(2)在金属、绝缘物混杂时减少测量对象受环境的影响来测量静电带电，(3)非接近地测量静电带电。本发明的静电带电测量方法具备：施加步骤，对测量对象物施加预先选定的振动频率、振幅的振动；强度测量步骤，测量伴随着测量对象物的振动而产生的电磁波的强度；状态测量步骤，根据在测量步骤中测量出的电磁波的强度来对测量对象物的静电带电状态进行测量。

公开(公告)号：CN105431744A

公开(公告)日：2016-03-23

申请号：CN201480041180.6

申请日：2014-03-13

Applicant: 独立行政法人产业技术综合研究所

Inventor： 菊永和也 ,  野中一洋

IPC: G01R29/12 ,  G01R29/24

CPC classification number: G01R29/24 ,  G01H11/06 ,  G01R29/0878 ,  G01R29/14 ,  G01V3/088 ,  G06F1/00 ,  G06T11/206 ,  H01L21/00 ,  H01L2221/00

Abstract: 本发明提供对测量对象物(200)的测量面上的静电分布进行测量的静电分布测量装置(1)，其具有：阵列天线(2)，其接收由振动在测量面上的多个区域(211)的每个区域内产生的电场；振动单元(3)，其使测量对象物(200)或阵列天线(2)振动；测量单元(4)，其对阵列天线(2)接收的多个区域(211)的每个区域内的电场的强度、频率以及相位的至少一个进行测量；计算单元(5)，其根据测量单元(4)的测量结果，对多个区域(211)的每个区域内的静电量进行计算；以及描绘单元(6)，其根据多个区域(211)的每个区域内的静电量，对测量面上的静电分布进行描绘，阵列天线(2)具有对应于多个区域(211)的每个区域的多个天线元件(21)。