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公开(公告)号：CN110402374A
公开(公告)日：2019-11-01
申请号：CN201780085572.6
申请日：2017-12-21
Applicant: 瑞士CSEM电子显微技术研发中心
Abstract: 一种光学系统，包括至少一个物镜、光学滤波器、和成像透镜或包括多个孔径元件的第一孔径阵列。所述至少一个物镜、光学滤波器、和成像透镜或第一孔径阵列沿光轴布置，以在成像透镜上或在第一孔径阵列上形成光学滤波器的至少一个投影。所述光学系统还包括滤波器选择装置，用于选择要提供给成像透镜或第一孔径阵列的滤波的电磁辐射。
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