公开(公告)号：CN105810539A

公开(公告)日：2016-07-27

申请号：CN201610023565.0

申请日：2016-01-14

Applicant: 瓦里安医疗系统公司

Inventor： D·C·史密斯 ,  C·普莱斯 ,  D·布洛克 ,  J·E·布尔克

IPC: H01J35/02 ,  H01J35/16

CPC classification number: H01J5/22 ,  H01J7/18 ,  H01J9/385 ,  H01J9/40 ,  H01J35/08 ,  H01J35/16 ,  H01J35/18 ,  H01J35/20 ,  H01J2209/26 ,  H01J35/02

Abstract: 所公开的主题包括与真空和真空组件有关的设备和方法。在一些方面中，方法和设备涉及一种真空组件，该真空组件包括限定排空后的真空室的本体、在真空室和本体的外部之间延伸的本体中的管道、至少部分堵塞管道的塞子、以及从本体的外部密封真空室的塞子和本体之间的密封件。