公开(公告)号：CN103229288A

公开(公告)日：2013-07-31

申请号：CN201180056752.4

申请日：2011-09-23

Applicant: 瓦里安半导体设备公司

Inventor： 尼可拉斯·P·T·贝特曼 ,  凯文·M·丹尼尔斯 ,  阿塔尔·古普塔 ,  罗素·J·洛 ,  班杰明·D·里欧登 ,  罗伯特·J·米歇尔 ,  史蒂芬·M·恩尔拉

IPC: H01L21/677 ,  H01J37/317 ,  H01L21/687

CPC classification number: H01L21/677 ,  H01J37/3171 ,  H01J2237/31711 ,  H01L21/68735 ,  H01L31/1804 ,  Y02E10/547 ,  Y02P70/521

Abstract: 本发明揭示了改良的、低成本的制作基板的方法以创造太阳能电池。此外，还揭示了改良的基板载具。一般用以运载基板的载具被改良，以便来当作图案化植入的遮蔽罩幕。在一些实施例中，各种图案能够利用载具产生而出，使得可藉由改变载具或载具的位置来执行在基板上不同的制程步骤。另外，因为基板对载具的对准是重要的，所以载具可包括对准特征来确保基板能够在载具上适当地定位好。在一些实施例中，重力会被用来支撑在载具上的基板，且因此离子被引导离子以便使离子束向上朝向载具的底侧行进。