半导体区块粘接装置、半导体区块粘接方法及半导体晶片的制造方法

    公开(公告)号:CN102763195A

    公开(公告)日:2012-10-31

    申请号:CN201180009787.2

    申请日:2011-02-15

    CPC classification number: H01L21/67092 H01L21/6715 H01L21/6838

    Abstract: 一种半导体区块粘接装置,具备:进行半导体区块(8)和基底基板(7)的搬入和搬出的搬入搬出部(2);具备对半导体区块(8)表面进行吸附的吸附垫片(32)、与吸附垫片(32)连接并利用空气压使吸附在吸附垫片(32)上的半导体区块(8)上下移动的驱动器(33)、和与驱动器连接的空气机(34)的支撑部;将含有聚合性乙烯基单体的粘接剂涂布在基底基板(7)上的涂布部(4);承载半导体区块(8)或者基底基板(7)并在搬入搬出部(2)、支撑部(3)和涂布部(4)间移动的载物台(13);控制以下工序的控制装置(5),该工序即由搬入搬出部(2)将基底基板(7)搬运到涂布部(4),在涂布部(4)中在将粘接剂涂布在基底基板(7)上后随即将涂布后的基底基板(7)向半导体区块(8)的下方搬运,并将半导体区块(8)降到下方与基底基板(7)粘接。

    固化性组合物以及使用该组合物的构件的暂时固定方法

    公开(公告)号:CN101213225A

    公开(公告)日:2008-07-02

    申请号:CN200680024218.4

    申请日:2006-07-03

    Abstract: 提供了光构件加工时的暂时固定方法以及适用于该方法的固化性组合物。它是含有(A):多官能(甲基)丙烯酸酯、(B):单官能(甲基)丙烯酸酯、(C):光聚合引发剂、(D):极性溶剂的固化性组合物。固化性组合物还可以含有(G):温度应答性聚合物及(H):粒状物质。另外,暂时固定方法的特征在于,使用上述固化性组合物将构件粘合暂时固定,进行加工,再将该加工后的构件浸渍在30~90℃的温水中,将上述固化性组合物的固化体取出。

    半导体区块粘接装置、半导体区块粘接方法及半导体晶片的制造方法

    公开(公告)号:CN102763195B

    公开(公告)日:2015-04-22

    申请号:CN201180009787.2

    申请日:2011-02-15

    CPC classification number: H01L21/67092 H01L21/6715 H01L21/6838

    Abstract: 一种半导体区块粘接装置,具备:进行半导体区块(8)和基底基板(7)的搬入和搬出的搬入搬出部(2);具备对半导体区块(8)表面进行吸附的吸附垫片(32)、与吸附垫片(32)连接并利用空气压使吸附在吸附垫片(32)上的半导体区块(8)上下移动的驱动器(33)、和与驱动器连接的空气机(34)的支撑部;将含有聚合性乙烯基单体的粘接剂涂布在基底基板(7)上的涂布部(4);承载半导体区块(8)或者基底基板(7)并在搬入搬出部(2)、支撑部(3)和涂布部(4)间移动的载物台(13);控制以下工序的控制装置(5),该工序即由搬入搬出部(2)将基底基板(7)搬运到涂布部(4),在涂布部(4)中在将粘接剂涂布在基底基板(7)上后随即将涂布后的基底基板(7)向半导体区块(8)的下方搬运,并将半导体区块(8)降到下方与基底基板(7)粘接。

    固化性树脂组合物、表面保护方法、临时固定方法及剥离方法

    公开(公告)号:CN101370879B

    公开(公告)日:2015-06-24

    申请号:CN200780002262.X

    申请日:2007-01-11

    Abstract: 本发明提供表面保护用的固化性树脂组合物、使用了它的光固化型的粘接剂、构件的临时固定方法以及剥离保护膜的方法,该表面保护用的固化性树脂组合物可以在被加工构件上形成对环境友好、具有高粘接强度、而且在水中很容易没有浆液残留地以薄膜状剥离的保护膜。本发明提供如下的表面保护用的固化性树脂组合物,其特征是,含有(A):多官能(甲基)丙烯酸酯、(B):单官能(甲基)丙烯酸酯、(C):具有环戊二烯骨架的树脂。本发明还提供如下的表面保护用的固化性树脂组合物,其特征是,含有(A):多官能(甲基)丙烯酸酯、(B):单官能(甲基)丙烯酸酯、(C):具有环戊二烯骨架的树脂、(D):光聚合引发剂。另外,本发明还提供如下的表面保护用的固化性树脂组合物,其特征是,含有(A):多官能(甲基)丙烯酸酯、(B):单官能(甲基)丙烯酸酯、(C):具有环戊二烯骨架的树脂、(D):光聚合引发剂、(E)极性有机溶剂。

    固化性组合物以及使用该组合物的构件的暂时固定方法

    公开(公告)号:CN101213225B

    公开(公告)日:2011-03-30

    申请号:CN200680024218.4

    申请日:2006-07-03

    Abstract: 提供了光构件加工时的暂时固定方法以及适用于该方法的固化性组合物。它是含有(A):多官能(甲基)丙烯酸酯、(B):单官能(甲基)丙烯酸酯、(C):光聚合引发剂、(D):极性溶剂的固化性组合物。固化性组合物还可以含有(G):温度应答性聚合物及(H):粒状物质。另外,暂时固定方法的特征在于,使用上述固化性组合物将构件粘合暂时固定,进行加工,再将该加工后的构件浸渍在30~90℃的温水中,将上述固化性组合物的固化体取出。

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