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公开(公告)号：CN102047150B
公开(公告)日：2013-11-06
申请号：CN200980120113.2
申请日：2009-05-20
Applicant: 皇家飞利浦电子股份有限公司
Inventor： G·黑特胡夫特 , B·H·W·亨德里克斯 , M·梅根斯
CPC classification number: G02B5/00 , G02B5/04 , G02B27/095 , G02B2207/117 , H01S3/0057
Abstract: 本发明涉及一种较高阶色散补偿设备(210)，该设备适于与光学部件配对(P1，P2)(例如棱镜配对)协作，所述光学部件被设置成通过在空间上分开不同的波长而补偿一阶色散。所述补偿设备(210)具有相位板的形式，其中通过在板的相应位置(x)设计高度(h)以便基本上补偿较高阶色散来调节对于每个波长的相位变化。本发明有利于获得一种较高阶色散补偿设备，其构造和使用相对简单，使得它成为相当成本有效的设备。本发明还涉及用于补偿色散的相应光学系统和方法，其中这在例如多光子成像系统中是重要的。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN101583436A
公开(公告)日：2009-11-18
申请号：CN200880002343.4
申请日：2008-01-11
Applicant: 皇家飞利浦电子股份有限公司
IPC: B05D1/28
CPC classification number: G03F7/0002 , B05D1/28 , B82Y10/00 , B82Y40/00 , Y10S438/973 , Y10S438/976
Abstract: 本发明涉及一种以改进的横向对准使挠性板件接触到第一元件的方法。该方法包括步骤：在第一阶段中在建立挠性板件与第一元件及称为锚件的板件驻留表面任意其一之间的第一接触之后，测量第一横向未对准。如果该未对准超出预定阈值，挠性板件驻留在锚件使得其不接触第一元件，且第一元件和锚件的相对位置在第二阶段被变更以校正在该方法下一步骤内将建立的挠性板件和第一元件之间接触期间的失配。在偏移接触点以得到第二阶段的步骤期间，与用于建立初始接触的工艺相比，该接触工艺更精确和可重复。本发明还涉及用于执行该方法的设备以及该方法和设备用于制作装置的用途。
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公开(公告)号：CN101547748B
公开(公告)日：2012-10-31
申请号：CN200780044953.6
申请日：2007-12-03
Applicant: 皇家飞利浦电子股份有限公司
IPC: B05D1/28
CPC classification number: B05D1/28 , B05C1/027 , B82Y10/00 , B82Y40/00 , G03F7/0002
Abstract: 本发明提供了一种以无应力和更小畸变的方式将薄片层叠到基板的方法和设备。该方法包括提供薄片和基板，使得在该薄片和基板之间存在吸引力，至少当基板和薄片的距离短于临界距离时，该吸引力能够使该薄片和表面结合在一起。该方法通过在薄片和基板之间局部地形成初始接触而产生这些条件，使得在基板和薄片接触的区域以及基板和薄片不接触的区域之间的边界，即接触前缘，存在这些条件。在另一步骤中，薄片和基板允许逐渐形成接触，使得接触前缘或者沿着基板或者沿着薄片表面前进，籍此增大基板和薄片之间的接触区域。当在压印光刻或者模压工艺或者特征图案需要从基板转印到表面或者从表面转印到基板的其它过程中，该方法是有利的。
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公开(公告)号：CN102047150A
公开(公告)日：2011-05-04
申请号：CN200980120113.2
申请日：2009-05-20
Applicant: 皇家飞利浦电子股份有限公司
Inventor： G·黑特胡夫特 , B·H·W·亨德里克斯 , M·梅根斯
CPC classification number: G02B5/00 , G02B5/04 , G02B27/095 , G02B2207/117 , H01S3/0057
Abstract: 本发明涉及一种较高阶色散补偿设备(210)，该设备适于与光学部件配对(P1，P2)(例如棱镜配对)协作，所述光学部件被设置成通过在空间上分开不同的波长而补偿一阶色散。所述补偿设备(210)具有相位板的形式，其中通过在板的相应位置(x)设计高度(h)以便基本上补偿较高阶色散来调节对于每个波长的相位变化。本发明有利于获得一种较高阶色散补偿设备，其构造和使用相对简单，使得它成为相当成本有效的设备。本发明还涉及用于补偿色散的相应光学系统和方法，其中这在例如多光子成像系统中是重要的。
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公开(公告)号：CN101583436B
公开(公告)日：2014-05-07
申请号：CN200880002343.4
申请日：2008-01-11
Applicant: 皇家飞利浦电子股份有限公司
IPC: B05D1/28
CPC classification number: G03F7/0002 , B05D1/28 , B82Y10/00 , B82Y40/00 , Y10S438/973 , Y10S438/976
Abstract: 本发明涉及一种以改进的横向对准使挠性板件接触到第一元件的方法。该方法包括步骤：在第一阶段中在建立挠性板件与第一元件及称为锚件的板件驻留表面任意其一之间的第一接触之后，测量第一横向未对准。如果该未对准超出预定阈值，挠性板件驻留在锚件使得其不接触第一元件，且第一元件和锚件的相对位置在第二阶段被变更以校正在该方法下一步骤内将建立的挠性板件和第一元件之间接触期间的失配。在偏移接触点以得到第二阶段的步骤期间，与用于建立初始接触的工艺相比，该接触工艺更精确和可重复。本发明还涉及用于执行该方法的设备以及该方法和设备用于制作装置的用途。
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公开(公告)号：CN101547748A
公开(公告)日：2009-09-30
申请号：CN200780044953.6
申请日：2007-12-03
Applicant: 皇家飞利浦电子股份有限公司
IPC: B05D1/28
CPC classification number: B05D1/28 , B05C1/027 , B82Y10/00 , B82Y40/00 , G03F7/0002
Abstract: 本发明提供了一种以无应力和更小畸变的方式将薄片层叠到基板的方法和设备。该方法包括提供薄片和基板，使得在该薄片和基板之间存在吸引力，至少当基板和薄片的距离短于临界距离时，该吸引力能够使该薄片和表面结合在一起。该方法通过在薄片和基板之间局部地形成初始接触而产生这些条件，使得在基板和薄片接触的区域以及基板和薄片不接触的区域之间的边界，即接触前缘，存在这些条件。在另一步骤中，薄片和基板允许逐渐形成接触，使得接触前缘或者沿着基板或者沿着薄片表面前进，籍此增大基板和薄片之间的接触区域。当在压印光刻或者模压工艺或者特征图案需要从基板转印到表面或者从表面转印到基板的其它过程中，该方法是有利的。
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