公开(公告)号：CN102598438B

公开(公告)日：2014-01-29

申请号：CN201080048532.2

申请日：2010-11-02

Applicant: 矢崎总业株式会社

Inventor： 中田敦 ,  山形智枝美 ,  田中聪

IPC: H01S5/00 ,  H01S5/183

CPC classification number: G01J1/4257 ,  H01S5/0021 ,  H01S5/18311

Abstract: 本发明公开一种用于在短时间内以低成本检测损坏的VCSEL的方法。尚未遭受ESD损坏的多模VCSEL呈现示出了与激活层和上下反射器(DBR)的结构对应的若峰值数目的发光频谱。另一方面，已经遭受ESD损坏并且具有损坏的激活层的VCSEL呈现出了示出比最初峰值数目少的峰值，例如两个或更少的峰值，的发光频谱。因此，发光频谱分析器分析该发光频谱，并且当峰值的数目等于或少于预定数目，例如两个或更少时，确定已经发生ESD损坏。

公开(公告)号：CN102598438A

公开(公告)日：2012-07-18

申请号：CN201080048532.2

申请日：2010-11-02

Applicant: 矢崎总业株式会社

Inventor： 中田敦 ,  山形智枝美 ,  田中聪

IPC: H01S5/00 ,  H01S5/183

CPC classification number: G01J1/4257 ,  H01S5/0021 ,  H01S5/18311

Abstract: 本发明公开一种用于在短时间内以低成本检测损坏的VCSEL的方法。尚未遭受ESD损坏的多模VCSEL呈现示出了与激活层和上下反射器(DBR)的结构对应的若峰值数目的发光频谱。另一方面，已经遭受ESD损坏并且具有损坏的激活层的VCSEL呈现出了示出比最初峰值数目少的峰值，例如两个或更少的峰值，的发光频谱。因此，发光频谱分析器分析该发光频谱，并且当峰值的数目等于或少于预定数目，例如两个或更少时，确定已经发生ESD损坏。