公开(公告)号：CN108803066B

公开(公告)日：2020-11-10

申请号：CN201810462971.6

申请日：2015-02-12

Applicant: 科磊股份有限公司

Inventor： J·M·沙利文 ,  R·约翰逊 ,  E·丘林 ,  文健·蔡 ,  Y·M·穆恩

IPC: G02B27/42 ,  G02B21/00 ,  G01N21/88 ,  G01N21/95

Abstract: 本发明涉及多点扫描收集光学器件。本发明揭示用于检验或测量样品的设备及方法。一种系统包括照明通道，所述照明通道用于产生多个入射光束且使所述多个入射光束偏转以形成多个光点，所述多个光点跨越由所述样品的多个扫描部分组成的经分段线进行扫描。所述系统还包含一或多个检测通道，所述一或多个检测通道用于感测响应于朝向样品引导的所述入射光束而从此样品发出的光，且在使每一入射光束的光点在其扫描部分上方进行扫描时收集每一扫描部分的所检测图像。所述一或多个检测通道包含至少一个纵向侧通道，所述至少一个纵向侧通道用于在使每一入射光束的光点在其扫描部分上方进行扫描时纵向地收集每一扫描部分的所检测图像。

公开(公告)号：CN108803066A

公开(公告)日：2018-11-13

申请号：CN201810462971.6

申请日：2015-02-12

Applicant: 科磊股份有限公司

Inventor： J·M·沙利文 ,  R·约翰逊 ,  E·丘林 ,  文健·蔡 ,  Y·M·穆恩

IPC: G02B27/42 ,  G02B21/00 ,  G01N21/88 ,  G01N21/95

CPC classification number: G01N21/8806 ,  G01N21/8851 ,  G01N21/9501 ,  G01N21/956 ,  G01N2201/06113 ,  G01N2201/1056 ,  G02B21/0016 ,  G02B21/002 ,  G02B21/0052 ,  G02B21/0092 ,  G02B27/0068 ,  G02B27/4227 ,  G02B27/46

Abstract: 本发明涉及多点扫描收集光学器件。本发明揭示用于检验或测量样品的设备及方法。一种系统包括照明通道，所述照明通道用于产生多个入射光束且使所述多个入射光束偏转以形成多个光点，所述多个光点跨越由所述样品的多个扫描部分组成的经分段线进行扫描。所述系统还包含一或多个检测通道，所述一或多个检测通道用于感测响应于朝向样品引导的所述入射光束而从此样品发出的光，且在使每一入射光束的光点在其扫描部分上方进行扫描时收集每一扫描部分的所检测图像。所述一或多个检测通道包含至少一个纵向侧通道，所述至少一个纵向侧通道用于在使每一入射光束的光点在其扫描部分上方进行扫描时纵向地收集每一扫描部分的所检测图像。

公开(公告)号：CN105980908B

公开(公告)日：2018-06-08

申请号：CN201580008361.3

申请日：2015-02-12

Applicant: 科磊股份有限公司

Inventor： J·M·沙利文 ,  R·约翰逊 ,  E·丘林 ,  文健·蔡 ,  Y·M·穆恩

IPC: G02B26/10 ,  G01N21/88 ,  H01L21/66

CPC classification number: G01N21/8806 ,  G01N21/8851 ,  G01N21/9501 ,  G01N2201/06113 ,  G01N2201/1056 ,  G02B21/0016 ,  G02B21/002 ,  G02B21/0052 ,  G02B21/0092 ,  G02B27/0068 ,  G02B27/4227 ,  G02B27/46

Abstract: 本发明揭示用于检验或测量样品的设备及方法。一种系统包括照明通道，所述照明通道用于产生多个入射光束且使所述多个入射光束偏转以形成多个光点，所述多个光点跨越由所述样品的多个扫描部分组成的经分段线进行扫描。所述系统还包含一或多个检测通道，所述一或多个检测通道用于感测响应于朝向样品引导的所述入射光束而从此样品发出的光，且在使每一入射光束的光点在其扫描部分上方进行扫描时收集每一扫描部分的所检测图像。所述一或多个检测通道包含至少一个纵向侧通道，所述至少一个纵向侧通道用于在使每一入射光束的光点在其扫描部分上方进行扫描时纵向地收集每一扫描部分的所检测图像。

公开(公告)号：CN105980908A

公开(公告)日：2016-09-28

申请号：CN201580008361.3

申请日：2015-02-12

Applicant: 科磊股份有限公司

Inventor： J·M·沙利文 ,  R·约翰逊 ,  E·丘林 ,  文健·蔡 ,  Y·M·穆恩

IPC: G02B26/10 ,  G01N21/88 ,  H01L21/66

CPC classification number: G01N21/8806 ,  G01N21/8851 ,  G01N21/9501 ,  G01N2201/06113 ,  G01N2201/1056 ,  G02B21/0016 ,  G02B21/002 ,  G02B21/0052 ,  G02B21/0092 ,  G02B27/0068 ,  G02B27/4227 ,  G02B27/46

Abstract: 本发明揭示用于检验或测量样品的设备及方法。一种系统包括照明通道，所述照明通道用于产生多个入射光束且使所述多个入射光束偏转以形成多个光点，所述多个光点跨越由所述样品的多个扫描部分组成的经分段线进行扫描。所述系统还包含一或多个检测通道，所述一或多个检测通道用于感测响应于朝向样品引导的所述入射光束而从此样品发出的光，且在使每一入射光束的光点在其扫描部分上方进行扫描时收集每一扫描部分的所检测图像。所述一或多个检测通道包含至少一个纵向侧通道，所述至少一个纵向侧通道用于在使每一入射光束的光点在其扫描部分上方进行扫描时纵向地收集每一扫描部分的所检测图像。