可动反射元件和二维扫描装置

    公开(公告)号:CN107636512B

    公开(公告)日:2020-05-01

    申请号:CN201680034196.3

    申请日:2016-06-06

    Abstract: 致动器部(140)的一对构件分别配置于可动框(120)的X轴方向上的两侧,利用压电元件的伸缩进行变形而使可动框(120)以X轴为中心相对于固定框(110)摆动。致动器部(150)的一对构件分别配置于镜面部(130)的Y轴方向上的两侧,利用压电元件的伸缩进行变形而使镜面部(130)以Y轴为中心相对于可动框(120)摆动。致动器部(140)的沿着Y轴方向延伸的部分的长度大于从固定框(110)的与致动器部(140)连接的内边到可动框(120)的沿着Y轴方向延伸的外边的中点为止的距离。

    可动反射元件和二维扫描装置

    公开(公告)号:CN107636512A

    公开(公告)日:2018-01-26

    申请号:CN201680034196.3

    申请日:2016-06-06

    Abstract: 致动器部(140)的一对构件分别配置于可动框(120)的X轴方向上的两侧,利用压电元件的伸缩进行变形而使可动框(120)以X轴为中心相对于固定框(110)摆动。致动器部(150)的一对构件分别配置于镜面部(130)的Y轴方向上的两侧,利用压电元件的伸缩进行变形而使镜面部(130)以Y轴为中心相对于可动框(120)摆动。致动器部(140)的沿着Y轴方向延伸的部分的长度大于从固定框(110)的与致动器部(140)连接的内边到可动框(120)的沿着Y轴方向延伸的外边的中点为止的距离。

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