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公开(公告)号:CN107615131A
公开(公告)日:2018-01-19
申请号:CN201680033019.3
申请日:2016-06-07
Applicant: 第一精工株式会社
Abstract: 利用两条字母U字状臂部将形成有反射层(165)的镜体部(160)支承在框状的支承部(110)的内部。板状的臂部(120)将固定点(Q1、Q2)之间连接起来,板状的臂部(130)将固定点(Q3、Q4)之间连接起来。在臂部(120)的外侧的桥梁体(121)的上表面沿长度方向轴线(L1)设有一对压电元件(E11、E12),在内侧的桥梁体(122)的上表面沿着长度方向轴线(L2)设有单一的压电元件(E20)。同样,在臂部(130)的外侧的桥梁体(131)的上表面设有一对压电元件(E31、E32),在内侧的桥梁体(132)的上表面设有单一的压电元件(E40)。对压电元件(E11、E20、E31、E40)发送正驱动信号,对压电元件(E12、E32)发送负驱动信号时,镜体部(160)有效地产生位移。
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公开(公告)号:CN107615131B
公开(公告)日:2020-07-07
申请号:CN201680033019.3
申请日:2016-06-07
Applicant: 第一精工株式会社
Abstract: 利用两条字母U字状臂部将形成有反射层(165)的镜体部(160)支承在框状的支承部(110)的内部。板状的臂部(120)将固定点(Q1、Q2)之间连接起来,板状的臂部(130)将固定点(Q3、Q4)之间连接起来。在臂部(120)的外侧的桥梁体(121)的上表面沿长度方向轴线(L1)设有一对压电元件(E11、E12),在内侧的桥梁体(122)的上表面沿着长度方向轴线(L2)设有单一的压电元件(E20)。同样,在臂部(130)的外侧的桥梁体(131)的上表面设有一对压电元件(E31、E32),在内侧的桥梁体(132)的上表面设有单一的压电元件(E40)。对压电元件(E11、E20、E31、E40)发送正驱动信号,对压电元件(E12、E32)发送负驱动信号时,镜体部(160)有效地产生位移。
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