公开(公告)号：CN102955187A

公开(公告)日：2013-03-06

申请号：CN201210293203.5

申请日：2012-08-16

Applicant: 精工爱普生株式会社

Inventor： 吉澤隆彦

IPC: G02B5/20 ,  G01N21/31 ,  G01J3/00

CPC classification number: G01J3/0256 ,  B81B2201/047 ,  B81B2203/0384 ,  G01J1/0488 ,  G01J3/36 ,  G01J2003/1213 ,  G02B5/201 ,  G02B5/285 ,  H01L29/06 ,  H01L31/02165 ,  H01L31/02327 ,  H01L31/02366 ,  H01L31/18

Abstract: 本发明涉及倾斜结构体、倾斜结构体的制造方法、及分光传感器。所述倾斜结构体的制造方法包括：工序（a），在基板的上方形成牺牲膜；工序（b），形成第一膜，所述第一膜包括与基板连接的第一部分、位于牺牲膜的上方的第二部分、位于第一部分及第二部分之间的第三部分，并且第三部分的一部分、或者在第二部分和第三部分的边界部分处，具有与第一部分相比膜厚较薄的区域；工序（c），去除牺牲膜；工序（d），在工序（c）之后，在膜厚较薄的区域处使第一膜弯曲，并使第一膜的第二部分相对于基板而倾斜。

公开(公告)号：CN102955187B

公开(公告)日：2016-06-29

申请号：CN201210293203.5

申请日：2012-08-16

Applicant: 精工爱普生株式会社

Inventor： 吉澤隆彦

IPC: G02B5/20 ,  G01N21/31 ,  G01J3/00

CPC classification number: G01J3/0256 ,  B81B2201/047 ,  B81B2203/0384 ,  G01J1/0488 ,  G01J3/36 ,  G01J2003/1213 ,  G02B5/201 ,  G02B5/285 ,  H01L29/06 ,  H01L31/02165 ,  H01L31/02327 ,  H01L31/02366 ,  H01L31/18

Abstract: 本发明涉及倾斜结构体、倾斜结构体的制造方法、及分光传感器。所述倾斜结构体的制造方法包括：工序（a），在基板的上方形成牺牲膜；工序（b），形成第一膜，所述第一膜包括与基板连接的第一部分、位于牺牲膜的上方的第二部分、位于第一部分及第二部分之间的第三部分，并且第三部分的一部分、或者在第二部分和第三部分的边界部分处，具有与第一部分相比膜厚较薄的区域；工序（c），去除牺牲膜；工序（d），在工序（c）之后，在膜厚较薄的区域处使第一膜弯曲，并使第一膜的第二部分相对于基板而倾斜。