公开(公告)号：CN103115619B

公开(公告)日：2017-05-31

申请号：CN201210460416.2

申请日：2012-11-15

Applicant: 精工爱普生株式会社

Inventor： 大泽征司 ,  山口啓一 ,  盐原利彦 ,  矶野裕一 ,  菊池尊行

IPC: G01C19/5733

CPC classification number: H01L41/09 ,  G01C19/5607 ,  G01F1/662

Abstract: 本发明提供振子、振动装置及电子设备，其能够防止安装在安装基板上时的导电性固定部件彼此的接触，从而进行正确的驱动。振子（2）具有：振动片（3），其具有振动体（4）、对振动体（4）进行支承的第一支承部（51）、第二支承部（52）、及对第一支承部（51）、第二支承部（52）和振动体（4）进行连结的四个梁（61、62、63、64）；电极（710～740），其被设置在振动体（4）上；端子（712～742），其被设置在第一支承部（51）、第二支承部（52）上，并通过被设置在梁（61、62、63、64）上的配线（712～742）而与电极（710～740）电连接，在相邻的一对端子之间设置有多个槽（512），所述多个槽（512）在预定方向上分离，且在与预定方向交叉的方向上延伸。

公开(公告)号：CN103226016A

公开(公告)日：2013-07-31

申请号：CN201310027250.X

申请日：2013-01-24

Applicant: 精工爱普生株式会社

Inventor： 大泽征司 ,  菊岛正幸 ,  菊池尊行 ,  山口启一 ,  矶野裕一

IPC: G01C19/5607

CPC classification number: H01L41/107 ,  G01C19/5733 ,  G01P9/04

Abstract: 本发明提供振动片、振动器件、物理量检测装置以及电子设备，防止因振动泄漏现象产生的对驱动振动臂或检测振动臂的振动的影响，提高振动特性。振动片具有：与从振动体（4）延伸的第一梁（61）连接，支撑振动体（4）的第一支撑部（51）；设置于第一支撑部（51），沿着与第一梁（61）的延伸方向交叉的方向分离且并列地设置的检测信号端子（714）及检测接地端子（724），第一梁（61）和第一支撑部（51）在检测信号端子（714）和检测接地端子（724）之间连接，在检测信号端子（714）和检测接地端子（724）之间设有薄部（54a）或贯通部，薄部形成为在第一支撑部的正反方向上的厚度薄，贯通部是在正反方向上贯通去除第一支撑部而形成的。

公开(公告)号：CN103115619A

公开(公告)日：2013-05-22

申请号：CN201210460416.2

申请日：2012-11-15

Applicant: 精工爱普生株式会社

Inventor： 大泽征司 ,  山口啓一 ,  盐原利彦 ,  矶野裕一 ,  菊池尊行

IPC: G01C19/5733

CPC classification number: H01L41/09 ,  G01C19/5607 ,  G01F1/662

Abstract: 本发明提供振子、振动装置及电子设备，其能够防止安装在安装基板上时的导电性固定部件彼此的接触，从而进行正确的驱动。振子（2）具有：振动片（3），其具有振动体（4）、对振动体（4）进行支承的第一支承部（51）、第二支承部（52）、及对第一支承部（51）、第二支承部（52）和振动体（4）进行连结的四个梁（61、62、63、64）；电极（710～740），其被设置在振动体（4）上；端子（712～742），其被设置在第一支承部（51）、第二支承部（52）上，并通过被设置在梁（61、62、63、64）上的配线（712～742）而与电极（710～740）电连接，在相邻的一对端子之间设置有多个槽（512），所述多个槽（512）在预定方向上分离，且在与预定方向交叉的方向上延伸。