半导体发光器件、其制造方法和光模块

    公开(公告)号:CN100438104C

    公开(公告)日:2008-11-26

    申请号:CN200610008643.6

    申请日:2006-02-20

    CPC classification number: B82Y20/00 H01S5/22 H01S5/3235 H01S5/343

    Abstract: 提供了一种能够实现长寿命的半导体发光器件,一种制造该半导体发光器件的方法和一种使用该半导体发光器件的光模块。所述半导体发光器件具有有源层,其中层叠由Ga1-xInxNyAs1-y-zSbz混晶(0≤x<1,0<y<1,0≤z<1,且0<y+z<1)制成的阱层和由GaNvAs1-v混晶(0≤v<1)制成的势垒层。所述有源层中的氢的杂质浓度为3×1019cm-3或更小,且所述有源层中的铝的杂质浓度为1×1018cm-3或更小。因此,抑制了工作电流增大且能够实现长寿命。可以通过在生长有源层时减小被用作氮的原材料的有机氮化合物的流量来减小氢浓度。

    半导体发光器件、其制造方法和光模块

    公开(公告)号:CN1822406A

    公开(公告)日:2006-08-23

    申请号:CN200610008643.6

    申请日:2006-02-20

    CPC classification number: B82Y20/00 H01S5/22 H01S5/3235 H01S5/343

    Abstract: 提供了一种能够实现长寿命的半导体发光器件,一种制造该半导体发光器件的方法和一种使用该半导体发光器件的光模块。所述半导体发光器件具有有源层,其中层叠由Ga1-xInxNyAs1-y-zSbz混晶(0≤x<1,0<y<1,0≤z<1,且0<y+z<1)制成的阱层和由GaNvAs1-v混晶(0≤v<1)制成的势垒层。所述有源层中的氢的杂质浓度为3×1019cm-3或更小,且所述有源层中的铝的杂质浓度为1×1018cm-3或更小。因此,抑制了工作电流增大且能够实现长寿命。可以通过在生长有源层时减小被用作氮的原材料的有机氮化合物的流量来减小氢浓度。

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