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公开(公告)号：CN116416330A
公开(公告)日：2023-07-11
申请号：CN202210935523.X
申请日：2022-08-04
Applicant: 细美事有限公司
Abstract: 本发明提供能够视觉上确认所测量的静电的水平的静电可视化装置。静电可视化装置包括：拍摄部，在第一模式下生成在离测量对象第一距离的位置处拍摄所述测量对象的第一拍摄影像，并且在第二模式下生成在离所述测量对象第二距离的位置处拍摄所述测量对象的第二拍摄影像；静电传感器，在离所述测量对象所述第二距离的位置处测量所述测量对象的静电水平；处理器，将所述第二拍摄影像匹配到所述第一拍摄影像；以及输出部，输出在所述第一拍摄影像上对由所述静电传感器测量的静电水平进行视觉化的静电视觉化影像，其中，所述静电视觉化影像在所述第一拍摄影像上的与所述第二拍摄影像匹配的位置处包括与由所述静电传感器测量的所述测量对象的静电水平对应的颜色。
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公开(公告)号：CN116363050A
公开(公告)日：2023-06-30
申请号：CN202211531878.9
申请日：2022-12-01
Applicant: 细美事有限公司
IPC: G06T7/00 , H01L21/67 , G06V10/774 , G06V10/764 , B41J2/135 , B41J3/407
Abstract: 本发明提供生成大量的缺陷数据以提高不良喷嘴的检测准确度的喷嘴检查单元及包括其的基板处理装置。所述喷嘴检查单元包括：数据收集模块，收集与喷嘴相关的多个图像数据；数据分类模块，根据既定义的类别对多个图像数据进行分类；数据合并模块，合并多个图像数据中的与正常喷嘴相关的正常图像数据和与异常喷嘴相关的缺陷图像数据；数据训练模块，训练通过合并获得的多个合并图像数据；以及缺陷数据生成模块，基于通过训练获得的结果从多个合并图像数据生成多个最终图像数据。
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公开(公告)号：CN116071574A
公开(公告)日：2023-05-05
申请号：CN202210707954.0
申请日：2022-06-21
Applicant: 细美事有限公司
IPC: G06V10/764 , G06V10/774 , G06V10/74 , G06V10/82
Abstract: 本发明提供能够提高预测准确度的生成适应性训练图像数据集的方法。所述方法包括：准备第一图像数据集，第一图像数据集包括多个第一图像和与多个第一图像各自对应的第一类别；以第一图像数据集为对象来执行学习算法，生成第一学习模型；准备第二图像数据集，第二图像数据集包括多个第二图像和与多个第二图像各自对应的第二类别；将第二图像输入于第一学习模型，获得与第二图像对应的预测类别；如果与第二图像对应的第二类别不同于预测类别，则确定第二图像与哪个类别的图像相似；根据确定结果来更新与第二图像对应的类别，由此更新第二图像数据集；以及以第一图像数据集和更新后的第二图像数据集为对象来执行学习算法，生成第二学习模型。
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Patent Agency Ranking
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公开(公告)号：CN116403000A
公开(公告)日：2023-07-07
申请号：CN202211540001.6
申请日：2022-12-02
Applicant: 细美事有限公司
IPC: G06V10/40 , G01N21/88 , B41J3/407 , B41J2/01 , B41J29/00 , G06V10/762 , G06V10/764 , G06V10/77 , G06V10/774 , G06V10/82 , G06N3/096 , G06N3/088
Abstract: 本发明提供能够通过对训练图像数据集的验证以及半自动图像标记来减少图像数据标记作业时间，同时提高对数据集的分类准确度从而提高预测性能的基板检查单元及包括其的基板处理装置。所述基板检查单元包括：特征提取模块，在与基板的图像数据相关的多个训练数据根据既定义的类别被分类的情况下，从包括在每个类别中的训练数据中提取特征；有效性评价模块，评价特征的有效性；类别验证模块，验证既定义的类别；以及数据重构模块，基于被判断为具有有效性的特征和被验证的类别来重构多个训练数据，其中，在检查基板时使用重构的训练数据。
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公开(公告)号：CN115953496A
公开(公告)日：2023-04-11
申请号：CN202210729308.4
申请日：2022-06-24
Applicant: 细美事有限公司
Abstract: 本发明提供了能够在视觉上确认所测量的静电的电平的静电可视化系统。第一测量部，用于测量在测量对象的第一位置检测出的静电的电平，并且包括第一标记；拍摄部，用于拍摄所述测量对象从而生成拍摄图像；处理器，用于在所述拍摄图像中识别所述第一标记，并计算所述第一标记在所述拍摄图像上的坐标；以及输出部，用于在第一模式下输出对由所述第一测量部测量的所述静电的电平进行视觉化的静电视觉化图像，其中，所述静电视觉化图像在所述拍摄图像的所述第一标记的坐标上包括与由所述第一测量部测量的所述静电的电平对应的颜色。
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公开(公告)号：CN115891432A
公开(公告)日：2023-04-04
申请号：CN202210925463.3
申请日：2022-08-03
Applicant: 细美事有限公司
Abstract: 本发明提供了能够预测喷墨头单元的使用寿命并且能够使该寿命最大化的控制单元及包括其的基板处理装置。所述控制单元用于维护向基板上喷出基板处理液的喷墨头单元，并且包括：计数模块，用于对喷墨头单元的每个喷嘴的喷出次数进行计数；比较模块，用于将喷出次数与基准值进行比较，以判别喷出次数是否为基准值以上；以及评估模块，用于基于每个喷嘴的喷出次数是否为基准值以上来评估喷墨头单元的寿命是否达到可使用寿命。
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