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公开(公告)号：CN105228946B
公开(公告)日：2018-04-20
申请号：CN201480027517.8
申请日：2014-03-17
Applicant: 维斯普瑞公司
CPC classification number: B81B3/001 , B81B3/0051 , B81B3/0056 , B81B2201/0221 , B81B2203/04 , B81B2203/053 , H01G4/1227 , H01G5/18
Abstract: 提供了操作分割的致动器板以获得微电子机械系统(MEMS)装置的可动部件的期望形状的装置和方法。在一些实施方式中，在本文中描述的主题可以包括一种微电子机械系统(MEMS)装置，其包括：多个致动电极，其附着至第一表面，其中，所述一个或多个致动电极中的每个独立可控；以及可动部件，其与所述第一表面隔开并且相对于所述第一表面可移动，其中，所述可动部件进一步包括与所述多个固定的致动电极隔开的一个或多个可动致动电极。
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公开(公告)号：CN108439325A
公开(公告)日：2018-08-24
申请号：CN201810243295.3
申请日：2014-03-17
Applicant: 维斯普瑞公司
CPC classification number: B81B3/001 , B81B3/0051 , B81B3/0056 , B81B2201/0221 , B81B2203/04 , B81B2203/053 , H01G4/1227 , H01G5/18
Abstract: 本申请公开了微电子机械系统装置及调整其可动部件的形状的方法，该微电子机械系统装置，其包括：多个致动电极，其附着至第一表面，其中，所述一个或多个致动电极中的每个独立可控；以及可动部件，其与所述第一表面隔开并且相对于所述第一表面可移动，其中，所述可动部件进一步包括与所述多个固定的致动电极隔开的一个或多个可动致动电极。
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公开(公告)号：CN105228946A
公开(公告)日：2016-01-06
申请号：CN201480027517.8
申请日：2014-03-17
Applicant: 维斯普瑞公司
CPC classification number: B81B3/001 , B81B3/0051 , B81B3/0056 , B81B2201/0221 , B81B2203/04 , B81B2203/053 , H01G4/1227 , H01G5/18
Abstract: 提供了操作分割的致动器板以获得微电子机械系统(MEMS)装置的可动部件的期望形状的装置和方法。在一些实施方式中，在本文中描述的主题可以包括一种微电子机械系统(MEMS)装置，其包括：多个致动电极，其附着至第一表面，其中，所述一个或多个致动电极中的每个独立可控；以及可动部件，其与所述第一表面隔开并且相对于所述第一表面可移动，其中，所述可动部件进一步包括与所述多个固定的致动电极隔开的一个或多个可动致动电极。
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